[发明专利]高温度稳定性的声表波滤波器及其制备方法与应用在审
| 申请号： | 201910716397.7 | 申请日： | 2019-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN110601672A | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 刘绍侃;蒋燕港;卢翠;李强 | 申请（专利权）人： | 北京中讯四方科技股份有限公司;深圳华远微电科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/02;H03H9/64 |
| 代理公司： | 44312 深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) | 代理人： | 李倩竹 |
| 地址： | 100000 北京市海淀区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高温度稳定性的声表波滤波器及其制备方法和应用。所述声表波滤波包括压电基底，至少具有一平面；叉指换能器电极，所述叉指换能器电极是固定设置在所述压电基底的所述平面上；绝缘保护层，所述绝缘保护层具有相对的两个表面，其中一表面层叠结合在所述压电基底的所述平面上，并覆盖所述叉指换能器电极；另一表面上形成有若干间隔分布的凸起。所述声表波滤波器具有低的频率温度系数和低的瑞利波寄生响应现象，而且具有工作性能稳定性和使用寿命长等优点。另外，所述制备方法工艺条件可控，能够有效保证制备的高温度稳定性的声表波滤波器性能稳定，良品率高，成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 声表波 叉指换能器电极 滤波器 基底 压电 高温度稳定性 绝缘保护层 制备方法和应用 频率温度系数 制备方法工艺 层叠结合 工作性能 固定设置 间隔分布 使用寿命 良品率 瑞利波 寄生 可控 滤波 凸起 制备 响应 覆盖 保证 | ||
【主权项】：
1.一种高温度稳定性的声表波滤波器，其特征在于：包括/n压电基底，至少具有一平面；/n叉指换能器电极，所述叉指换能器电极是固定设置在所述压电基底的所述平面上；/n绝缘保护层，所述绝缘保护层具有相对的两个表面，其中一表面层叠结合在所述压电基底的所述平面上，并覆盖所述叉指换能器电极；另一表面上形成有若干间隔分布的凸起。/n
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