[发明专利]高温度稳定性的声表波滤波器及其制备方法与应用

权利要求书

1.一种高温度稳定性的声表波滤波器，其特征在于：包括

压电基底，至少具有一平面；

叉指换能器电极，所述叉指换能器电极是固定设置在所述压电基底的所述平面上；

绝缘保护层，所述绝缘保护层具有相对的两个表面，其中一表面层叠结合在所述压电基底的所述平面上，并覆盖所述叉指换能器电极；另一表面上形成有若干间隔分布的凸起。

2.根据权利要求1所述的声表波滤波器，其特征在于：单个所述凸起的顶部宽度小于根部宽度，且单个所述凸起的侧面为斜面。

3.根据权利要求2所述的声表波滤波器，其特征在于：单个所述凸起的所述顶部宽度与所述根部宽度的比值为0.3-0.4。

4.根据权利要求1-3任一项所述的声表波滤波器，其特征在于：相邻所述凸起之间的间距为0.3-0.8μm，且所述两相邻凸起间距与相邻金属叉指条间距一致；和/或

所述凸起的高度为1.0-1.1μm；和/或

单个所述凸起形成的位置与所述叉指换能器电极的单根电极正对应。

5.根据权利要求1-3任一项所述的声表波滤波器，其特征在于：所述绝缘保护层的材料为二氧化硅、氮化硅中的至少一种；

所述叉指换能器电极的材料为Al、Cu、Ti、中的任意一种或Al与Cu合金；

所述压电基底的材料为LiTaO₃。

6.根据权利要求5所述的声表波滤波器，其特征在于：所述绝缘保护层总厚度为0.29-0.31λ，所述λ为声波波长；

所述叉指换能器电极的厚度为0.045-0.055λ；

所述压电基底的材料的欧拉角(0，θ，0)θ为38⁰、41⁰、42⁰中的任一值。

7.根据权利要求1-6任一项所述声表波滤波器的制备方法，包括如下步骤：

在压电基底的一平面上制备叉指换能器电极；

在所述压电基底的所述平面上沉积绝缘保护膜层，并使得所述绝缘保护膜层覆盖所述叉指换能器电极；

对所述绝缘保护膜层的外表面进行刻蚀处理，使得所述表面形成有若干间隔分布的凸起。

8.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于：对所述绝缘保护膜层的外表面进行刻蚀处理包括如下步骤：

按照相邻所述凸起之间的间距设计要求，将所述绝缘保护膜层的外表面划分成刻蚀区域和非刻蚀区域，并在所述非刻蚀区域表面覆盖一防刻蚀的保护膜层；再

采用电感耦合等离子体刻蚀工艺对所述绝缘保护膜层的外表面中的刻蚀区域进行定向刻蚀处理。

9.根据权利要求8所述的制备方法，其特征在于：所述定向刻蚀处理所用的刻蚀剂为SF₆，钝化聚合物产生剂为C₄F₈，所述SF₆和C₄F₈是交替通入刻蚀室内；且所述定向刻蚀处理的工艺条件如下：

所述SF₆通入的气流流速为30-60 SCCM；

所述C₄F₈通入的气流流速为30-60 SCCM；

刻蚀功率为300-400 W；

纵向偏压为30-35 VDC。

10.根据权利要求1-6任一项所述的声表波滤波器在雷达、移动通信、信道化接收机、遥感遥测系统中的应用。