[发明专利]一种用于晶体生长的称量装置在审
| 申请号： | 201910712410.1 | 申请日： | 2019-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN110453278A | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 胡卫东;杨利涛;刘侃;王冬 | 申请（专利权）人： | 合肥嘉东光学股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/28 | 分类号： | C30B15/28;C30B15/30 |
| 代理公司： | 34119 合肥市长远专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 黄乐瑜<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 230000安徽省合肥市高*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提出的一种用于晶体生长的称量装置，通过设置驱动组件驱动内转盘转动，内转盘转动从而带动伸缩杆转动，伸缩杆转动从而带动套筒转动，套筒与螺杆螺纹连接使转动地套筒可沿螺杆的长度方向移动以带动称量传感器与籽晶杆移动，从而实现籽晶杆在提升的过程中旋转，提高温度场径向对称性，长处几何对称性的晶体，而且根据称量传感器所检测的重量信息，驱动组件驱动内转盘改变转速改变晶体的直径和提升速度以适应不同的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 转动 内转盘 套筒 称量传感器 驱动组件 伸缩杆 籽晶杆 长度方向移动 几何对称性 径向对称性 驱动 称量装置 晶体生长 螺杆螺纹 重量信息 晶体的 温度场 螺杆 检测 移动 | ||
【主权项】：
1.一种用于晶体生长的称量装置，其特征在于，包括两个支架(1)、固定板(1)、转盘、螺杆(6)、连接件(7)、至少一个伸缩杆(4)、套筒(5)、称量传感器(8)和籽晶杆(9)；/n两个支架(1)对称布置，固定板(2)设在两个支架(1)之间，固定板(2)两端分别与对应的支架(1)固定连接，转盘(3)包括可相对转动的内转盘(31)和外转盘(32)，外转盘(32)固定在固定板(2)上表面，驱动组件驱动连接内转盘(31)以驱动内转盘(31)沿自身轴线转动；/n内转盘(31)上设有同轴设置的第一通孔，固定板(2)上设有与第一通孔同轴设置的第二通孔，伸缩杆(4)第一端与内转盘(31)第二端固定连接，伸缩杆(4)第二端穿过第二通孔与套筒(5)第一端固定连接，套筒(5)为第一端开口的中空结构，套筒(5)内周壁设有内螺纹；/n螺杆(6)第一端与连接件(7)固定连接，连接件(7)与至少一个支架(1)滑动连接，螺杆(6)第二端穿过第一通孔和第二通孔并伸入到套筒(5)内部并与套筒(5)内周壁的内螺纹螺纹连接，套筒(5)第二端与称量传感器(8)固定连接，称量传感器(8)底部与籽晶杆(9)可拆卸固定，籽晶杆(9)、称量传感器(8)和套筒(5)同轴设置。/n
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