[发明专利]一种用于晶体生长的称量装置

说明书

本发明提出的一种用于晶体生长的称量装置，通过设置驱动组件驱动内转盘转动，内转盘转动从而带动伸缩杆转动，伸缩杆转动从而带动套筒转动，套筒与螺杆螺纹连接使转动地套筒可沿螺杆的长度方向移动以带动称量传感器与籽晶杆移动，从而实现籽晶杆在提升的过程中旋转，提高温度场径向对称性，长处几何对称性的晶体，而且根据称量传感器所检测的重量信息，驱动组件驱动内转盘改变转速改变晶体的直径和提升速度以适应不同的要求。

技术领域

本发明涉及晶体生长设备技术领域，具体涉及一种用于晶体生长的称量装置。

背景技术

晶体生长炉是利用籽晶制造晶体的设备。晶体的提拉速度影响晶体的生长情况，如申请号为201710224445.1的中国专利，利用坩埚内的装料总重量和称量的晶体重量，得到坩埚内的剩余料重量，来控制坩埚提升机构的提升速度，避免锅跟比过小或者过大影响晶体生长。但并没有温度场的径向不对称性，导致生长的晶体几何不对称。

发明内容

基于背景技术存在的技术问题，本发明提出的一种用于晶体生长的称量装置，以便于提高温度场的径向对称性。

本发明提出的一种用于晶体生长的称量装置，包括两个支架、固定板、转盘、螺杆、连接件、至少一个伸缩杆、套筒、称量传感器和籽晶杆；

两个支架对称布置，固定板设在两个支架之间，固定板两端分别与对应的支架固定连接，转盘包括可相对转动的内转盘和外转盘，外转盘固定在固定板上表面，驱动组件驱动连接内转盘以驱动转盘沿自身轴线转动；

内转盘上设有同轴设置的第一通孔，固定板上设有与第一通孔同轴设置的第二通孔，伸缩杆第一端与内转盘第二端固定连接，伸缩杆第二端穿过第二通孔与套筒第一端固定连接，套筒为第一端开口的中空结构，套筒内周壁设有内螺纹；

螺杆第一端与连接件固定连接，连接件与至少一个支架滑动连接，螺杆第二端穿过第一通孔和第二通孔并伸入到套筒内部并与套筒内周壁的内螺纹螺纹连接，套筒第二端与称量传感器固定连接，称量传感器底部与籽晶杆可拆卸固定，籽晶杆、称量传感器和套筒同轴设置。

优选地，螺杆第二端设有限位板，套筒的中空结构的第二端扩容形成用于容纳限位板且使限位板不脱出的限位腔。

优选地，还包括控制器，称重传感器信号连接控制器，控制器控制连接驱动组件

优选地，驱动组件包括电机和齿轮，内转盘第一端凸出于外转盘，且内转盘第一端沿周向设有外齿，电机安装在连接板上，电机的输出轴固定有齿轮，齿轮与外齿啮合，控制器控制连接电机。

优选地，第二通孔的直径大于第一通孔的直径且小于外转盘的外径。

优选地，第二通孔的直径大于第一通孔的直径且小于内转盘的外径。

本发明提出的一种用于晶体生长的称量装置，具有以下有益效果：

(1)通过设置驱动组件驱动内转盘转动，内转盘转动从而带动伸缩杆转动，伸缩杆转动从而带动套筒转动，套筒与螺杆螺纹连接使转动地套筒可沿螺杆的长度方向移动以带动称量传感器与籽晶杆移动，从而实现籽晶杆在提升的过程中旋转，提高温度场径向对称性，长处几何对称性的晶体。

(2)根据称量传感器所检测的重量信息，驱动组件驱动内转盘改变转速改变晶体的直径和提升速度以适应不同的要求。

附图说明

图1为本发明提出的一种用于晶体生长的称量装置的结构示意图。

具体实施方式

参照图1，本发明提出的一种用于晶体生长的称量装置，包括两个支架1、固定板2、转盘3、螺杆6、连接件7、至少一个伸缩杆4、套筒5、称量传感器8和籽晶杆9；