[发明专利]真空阀监控系统以及方法有效
| 申请号： | 201910691330.2 | 申请日： | 2019-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN110778783B | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 邱培诚 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | F16K37/00 | 分类号： | F16K37/00 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 李琛;黄艳 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本公开提供一种用于清洁以及检视环框架的真空阀监控系统以及真空阀监控方法。在一些实施例中，真空阀包括至少一个密封O形环以及位在真空处理腔室的配合表面上的压力监控带，其中所述压力监控带配置以在所述真空处理腔室的配合表面以及所述真空阀上的所述至少一个密封O形环的表面之间进行压力分布对映，以决定所述真空阀的关闭条件。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 监控 系统 以及 方法 | ||
【主权项】：
1.一种真空阀监控系统，包括：/n一真空阀，包括至少一个密封O形环；以及/n一压力监控带，位在一真空处理腔室的一配合表面上，其中该压力监控带配置以在该真空处理腔室的该配合表面以及该真空阀上的该至少一个密封O形环的一表面之间进行一压力分布对映，以决定该真空阀的一关闭条件。/n
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