[发明专利]一种减少荧光物附着阳极表面的特殊工艺在审
| 申请号： | 201910679182.2 | 申请日： | 2019-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN110544652A | 公开（公告）日： | 2019-12-06 |
| 发明（设计）人： | 张艳娟;许国庆 | 申请（专利权）人： | 沈阳富创精密设备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 21234 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 俞鲁江<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 110000 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明针对半导体产品且具有表面清洁度(无荧光物)要求而研发的特殊制造工艺，此类清洁度要求的产品均为半导体产品中的重要零部件如300mm liner及300mm DSP Liner等需要作阳极、刷镍、喷涂等一系列特殊工艺的产品。通过从多个方面进行多组DOE实验，从而得出一套稳定的控制特殊工艺表面荧光的工艺方案，彻底解决了阳极制程产品表面的荧光问题。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体产品 阳极 荧光 表面清洁度 清洁度要求 重要零部件 产品表面 多个方面 工艺表面 制造工艺 荧光物 喷涂 研发 制程 | ||
【主权项】：
1.一种减少荧光物附着阳极表面的特殊工艺，其特征在于：/n将阳极前边角的R设计到尺寸公差带内的最大值，防止荧光、发光颗粒、纤维密集残留于R角内。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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