[发明专利]一种光纤透镜的飞秒激光加工方法在审
| 申请号： | 201910673089.0 | 申请日： | 2019-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN110405354A | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | 陈涛;司金海;沈天伦;侯洵 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学;西安交通大学苏州研究院 |
| 主分类号： | B23K26/362 | 分类号： | B23K26/362;B23K26/53;G02B6/02 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 范巍 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光纤透镜的飞秒激光加工方法，包括以下步骤：利用聚焦的飞秒激光在光纤上依照待制备透镜轮廓进行扫描，激光焦点辐照区域发生材料改性或者刻蚀去除；将处理后的光纤端面部分浸入氢氟酸溶液，通过对改性区域材料的选择腐蚀去除，使透镜轮廓外的光纤脱离形成光纤透镜原型；控制腐蚀时间，使获得的光纤透镜原型的表面趋向光滑，形成光纤透镜。本发明方法加工工序简单，制备光纤透镜的形貌灵活，加工中不存在热效应，可在光纤端面制备各种形貌的凸面和凹面光纤透镜，解决了现有制备方法中存在应力破坏和热烧蚀变形问题，可用于光纤传感、光纤激光器等领域等需要光纤耦合的领域。 | ||
| 搜索关键词： | 光纤透镜 制备 飞秒激光加工 形貌 透镜轮廓 去除 原型 热效应 光纤 光纤端面制备 腐蚀 光纤激光器 氢氟酸溶液 变形问题 发生材料 飞秒激光 辐照区域 改性区域 光纤传感 光纤端面 光纤耦合 激光焦点 加工工序 应力破坏 浸入 凹面 改性 光滑 可用 刻蚀 烧蚀 凸面 聚焦 扫描 灵活 脱离 加工 | ||
【主权项】：
1.一种光纤透镜的飞秒激光加工方法，其特征在于，包括以下步骤：利用聚焦的飞秒激光在光纤上依照待制备透镜轮廓进行扫描，激光焦点辐照区域发生材料改性或者刻蚀去除；将处理后的光纤端面部分浸入氢氟酸溶液，通过对改性区域材料的选择腐蚀去除，使透镜轮廓外的光纤脱离形成光纤透镜原型；控制腐蚀时间，使获得的光纤透镜原型的表面趋向光滑，形成光纤透镜。
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