[发明专利]分子束外延用衬底粘接方法在审
| 申请号： | 201910669832.5 | 申请日： | 2019-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN110453279A | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 高达;王经纬;王丛;李震;刘铭;周立庆 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十一研究所 |
| 主分类号： | C30B23/02 | 分类号： | C30B23/02;C30B25/02;C30B29/46 |
| 代理公司： | 11010 工业和信息化部电子专利中心 | 代理人： | 于金平<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 100015*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种分子束外延用衬底粘接方法，所述方法包括：将钼托放置在第一夹具上，并在钼托上依次层叠放置铟片、衬底、第二夹具；将组合后的第一夹具、钼托、铟片、衬底和第二夹具放置于真空烘烤箱内，并在第一时间段内抽真空，在第二时间段内加热。采用本发明，能够提高衬底粘接均匀性，避免衬底被沾污、氧化，粘接剂在衬底表面残留等问题，而且粘接方法容易操作，可以实现批量化粘片工艺的开展。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 夹具 粘接 钼托 时间段 铟片 分子束外延 衬底表面 依次层叠 真空烘烤 抽真空 均匀性 批量化 粘接剂 粘片 沾污 加热 残留 | ||
【主权项】：
1.一种分子束外延用衬底粘接方法，其特征在于，包括：/n将钼托放置在第一夹具上，并在所述钼托上依次层叠放置铟片、衬底、第二夹具；/n将组合后的所述第一夹具、所述钼托、所述铟片、所述衬底和所述第二夹具放置于真空烘烤箱内，并在第一时间段内抽真空，在第二时间段内加热。/n
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