[发明专利]用于对基板的周缘部进行研磨的研磨装置及研磨方法在审
| 申请号： | 201910644905.5 | 申请日： | 2019-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN110732943A | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 中西正行;小寺健治 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B24B21/00 | 分类号： | B24B21/00;B24B21/18;B24B21/20;B24B49/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 31300 上海华诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明为用于对基板的周缘部进行研磨的研磨装置及研磨方法，提供能正确检测晶片等基板的周缘部的研磨终点的研磨装置。研磨装置具备将研磨件(42)向基板保持面(37)上的基板(W)的周缘部按压的研磨头(34)。研磨头具备将研磨件(42)向基板(W)的周缘部按压的按压部件(44)，和对起因于研磨件(42)与基板(W)的周缘部的摩擦阻力而作用于按压部件(44)的剪切力(F)进行检测的剪切力检测传感器(70)。剪切力检测传感器(70)以输出表示剪切力(F)的大小的指标值的方式构成。动作控制部(80)具备存储有用于确定指标值达到阈值的时间点即研磨终点的程序的存储装置(110)，和用于执行程序的处理装置(120)。 | ||
| 搜索关键词： | 周缘部 剪切力 基板 研磨装置 研磨件 按压 按压部件 研磨终点 研磨 研磨头 传感器 检测 动作控制部 基板保持面 处理装置 存储装置 检测晶片 摩擦阻力 输出表示 对基板 时间点 存储 | ||
【主权项】：
1.一种研磨装置，用于对基板的周缘部进行研磨，其特征在于，具备：/n基板保持部，该基板保持部具有对基板进行保持的基板保持面，并且使该基板保持面旋转；/n研磨头，该研磨头将研磨件向所述基板保持面上的所述基板的周缘部按压；及/n动作控制部，该动作控制部对所述基板保持部及所述研磨头的动作进行控制，/n所述研磨头具备：/n按压部件，该按压部件将所述研磨件向所述基板的周缘部按压；及/n剪切力检测传感器，该剪切力检测传感器对起因于所述研磨件与所述基板的周缘部的摩擦阻力而作用于所述按压部件的剪切力进行检测，/n所述剪切力检测传感器构成为输出表示所述剪切力的大小的指标值，/n所述动作控制部具备存储装置和处理装置，该存储装置存储有用于确定研磨终点的程序，该处理装置用于执行所述程序，所述研磨终点是所述指标值达到阈值的时间点。/n
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