[发明专利]一种传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201910603798.1 | 申请日： | 2019-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN110440831A | 公开（公告）日： | 2019-11-12 |
| 发明（设计）人： | 陆旭兵;郭敏;杨慧 | 申请（专利权）人： | 华南师范大学 |
| 主分类号： | G01D5/12 | 分类号： | G01D5/12;G01D5/16;C23C14/08;C23C14/28;C23C14/18;C23C14/04 |
| 代理公司： | 广州骏思知识产权代理有限公司 44425 | 代理人： | 吴静芝 |
| 地址： | 510006 广东省广州市番禺区外*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种传感器及其制备方法，所述传感器包括无机衬底，覆盖在所述无机衬底表面的La0.7Sr0.3MnO3薄膜和在所述La0.7Sr0.3MnO3薄膜上形成的金属电极。所述传感器能够同时检测温度、光、磁场等环境信号，且具有耐高温的特性。本发明采用脉冲激光沉积法在无机衬底的表面生长La0.7Sr0.3MnO3薄膜的制备工艺简单，与传统的镀膜工艺及半导体工艺兼容，能够实现光刻和离子刻蚀；从而能够更简单、更高效率的实现传感器的产业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 薄膜 衬底 制备 脉冲激光沉积法 半导体工艺 产业化生产 表面生长 衬底表面 镀膜工艺 环境信号 金属电极 离子刻蚀 制备工艺 传统的 高效率 耐高温 光刻 磁场 兼容 检测 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种传感器，其特征在于：包括无机衬底，覆盖在所述无机衬底表面的La0.7Sr0.3MnO3薄膜和在所述La0.7Sr0.3MnO3薄膜上形成的金属电极。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华南师范大学，未经华南师范大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910603798.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
