[发明专利]一种传感器及其制备方法

权利要求书

1.一种传感器，其特征在于：包括无机衬底，覆盖在所述无机衬底表面的La_0.7Sr_0.3MnO₃薄膜和在所述La_0.7Sr_0.3MnO₃薄膜上形成的金属电极。

2.根据权利要求1所述传感器，其特征在于：所述La_0.7Sr_0.3MnO₃薄膜的厚度为80～200nm。

3.根据权利要求2所述传感器，其特征在于：所述金属电极的厚度为0.5～1μm。

4.根据权利要求3所述传感器，其特征在于：所述无机衬底的厚度为1～4mm。

5.根据权利要求4所述传感器，其特征在于：所述金属电极的数量为2个或4个。

6.一种制备如权利要求1～5任意一项所述传感器的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：

S1：在无机衬底的表面制备La_0.7Sr_0.3MnO₃薄膜；

S2：在所述La_0.7Sr_0.3MnO₃薄膜上形成金属电极，制得传感器。

7.根据权利要求6所述传感器的制备方法，其特征在于：所述La_0.7Sr_0.3MnO₃薄膜通过脉冲激光沉积法制得，其具体操作步骤为：将激光打在La_0.7Sr_0.3MnO₃靶材表面，La_0.7Sr_0.3MnO₃靶材表面瞬时熔融为La_0.7Sr_0.3MnO₃等离子体，并沉积在所述无机衬底表面，形成La_0.7Sr_0.3MnO₃薄膜。

8.根据权利要求7所述传感器的制备方法，其特征在于：所述脉冲激光沉积法的具体操作条件为：沉积温度为600～700℃，腔体氧分压为1～15Pa，激光能流频率为1～2Hz，激光能流密度1.0～2.5J cm^-2。

9.根据权利要求8所述传感器的制备方法，其特征在于：在所述步骤S1中，所述无机衬底的材料为硅片、蓝宝石、钛酸锶、氧化镁、钛酸锶、铝酸镧、氧化镓或云母。

10.根据权利要求9所述传感器的制备方法，其特征在于：在所述步骤S2中，以金属Pt作为靶材，通过脉冲激光沉积法形成所述金属电极的具体操作条件为：沉积温度为25～100℃，腔体氧分压为5.0×10^-5～1.0×10^-3Pa，激光能流频率为6～10Hz，激光能流密度为1.0～2.5J cm^-2。