[发明专利]一种基于超短脉冲激光的高效率且波长连续可调的极紫外光产生系统在审
| 申请号： | 201910586461.4 | 申请日： | 2019-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN110289538A | 公开（公告）日： | 2019-09-27 |
| 发明（设计）人： | 李璐;闫兴武;程江 | 申请（专利权）人： | 重庆文理学院 |
| 主分类号： | H01S3/00 | 分类号： | H01S3/00;H01S3/108;H01S3/109 |
| 代理公司： | 上海硕力知识产权代理事务所(普通合伙) 31251 | 代理人： | 郭桂峰 |
| 地址： | 402160 重庆*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于超短脉冲激光的高效率且波长连续可调的极紫外光产生系统，包括：所述超短脉冲激光器输出的基频光经过光学倍频器或者光学参量放大器进行波长转换，通过高次谐波产生仪将转换后的脉冲激光聚焦在惰性气体上辐射产生高次谐波，通过极紫外光单色仪进行波长选择，最终输出高能量及高光通量的单色极紫外光。本发明稳定性高，信噪比好，采用光学倍频器或光学参量放大器对超短脉冲基频光进行波长转换，并通过分光光栅、反射镜及多维调整结构从高次谐波谱中选择特定光子能量的高次谐波，实现高效率且波长连续可调，产生的高能量及高光通量极紫外光可用于时间分辨及角分辨光电子能谱系统和极紫外光相干衍射成像系统的研究。 | ||
| 搜索关键词： | 极紫外光 高次谐波 连续可调 高效率 波长 光学参量放大器 超短脉冲激光 波长转换 产生系统 高光通量 倍频器 高能量 基频光 超短脉冲激光器 相干衍射成像 光电子能谱 波长选择 超短脉冲 多维调整 惰性气体 分光光栅 光子能量 脉冲激光 时间分辨 输出 单色仪 反射镜 角分辨 信噪比 可用 聚焦 辐射 转换 研究 | ||
【主权项】：
1.一种基于超短脉冲激光的高效率且波长连续可调的极紫外光产生系统，其特征在于，包括超短脉冲激光器(1)、高次谐波产生仪(3)以及极紫外光单色仪(4)；其中，所述超短脉冲激光器(1)输出的基频光经过光学倍频器(2)或者光学参量放大器(5)进行波长转换，而后通过高次谐波产生仪(3)将转换后的脉冲激光聚焦在惰性气体上辐射产生高次谐波，并通过极紫外光单色仪(4)进行波长选择，最终输出高能量及高光通量的单色极紫外光。
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- 吕彦飞;夏菁;张俊;姜泽军;杨睿;何阿呷;刘会龙;胡总华 - 云南大学
- 2018-11-15 - 2019-08-27 - H01S3/00
- 本发明公开了一种自混频可调谐空心激光器,包括从左至右依次设置的泵浦源(1)、耦合光学系统(2)、环形平凹面镜(3)、平面反射镜(4)、激光增益介质(5)、晶体圆锥镜(6)、玻璃圆锥镜(7)和平面输出耦合镜(8)；所述环形平凹镜(3)的焦点F1经玻璃圆锥镜(7)所成的像与晶体圆锥镜(6)凹面的焦平面重合，环形平凹镜(3)、晶体圆锥镜(6)和玻璃圆锥镜(7)构成望远系统。本发明能够产生中心光强为零的空心激光束，并且通过旋转调节激光增益介质的方式改变不同波长的位相匹配角，从而选择混频波长；通过旋转调节晶体圆锥镜的方式，能够使腔内某一波长可达到阈值条件实现振荡，进而实现激光波长调谐，具有广泛的应用场景。
- 一种超短光脉冲产生设备-201611220053.X
- 王东;李允博;王磊;李晗 - 中国移动通信有限公司研究院;中国移动通信集团公司
- 2016-12-26 - 2019-08-27 - H01S3/00
- 本发明公开了一种超短光脉冲产生设备，用以解决现有技术中存在的超短脉冲的产生方案的不能产生稳定的高质量无啁啾的超短光脉冲的问题。本发明实施例提供了一种超短光脉冲产生设备，该设备包括激光产生模块、相位调制模块、第一色散介质、强度调制器、补偿模块以及射频电源模块；所述激光产生模块、所述相位调制模块、所述第一色散介质、所述强度调制器以及所述补偿模块依次连接；所述射频电源模块分别为所述相位调制模块和所述强度调制器提供射频信号。第一色散介质可以拉伸经过相位调制模块处理的光信号中的啁啾区域，与射频电源模块驱动的强度调制器配合可以有效去除非线性啁啾，补偿模块可以去除线性啁啾，最终产生稳定的无啁啾超短光脉冲。
- 激光光源部件及其组成的亮点缺陷修复设备-201910399969.3
- 王馨莹;胡莉婷;林涛 - 北京兆维科技开发有限公司
- 2019-05-14 - 2019-08-16 - H01S3/00
- 本发明公开了一种激光光源部件及其组成的亮点缺陷修复设备，所述激光光源部件，包括依次顺序设置的激光发射部件、衰减装置和合束装置，所述激光发射部件用以发射多个激光束，且多个激光束的波长互不相同，所述衰减装置用以将多个激光束进行衰减和/或滤光处理；所述合束装置用以将衰减装置处理后的多个激光束合为一束。其结构简单，由激光发射部件发出多种波长不同的激光束，即每束激光的波长一致，再由衰减装置对多束激光束进行衰减和选择，保留所需要的波长的激光，然后保留下来的激光由合束装置合为一束。
- 一种窄线宽准分子激光系统和线宽压缩并整形的方法-201910449730.2
- 袁志军;周军;杨军红;江锐;张海波;沙鹏飞;韩晓泉;陈刚 - 北京科益虹源光电技术有限公司;南京中科神光科技有限公司
- 2019-05-28 - 2019-08-16 - H01S3/00
- 本发明涉及准分子激光器技术领域，提供了一种窄线宽准分子激光系统和用于该准分子激光系统的线宽压缩并整形的方法。该系统包括输出耦合镜和激光腔、柔性变焦模块、扩束模块、以及与该扩束模块组成littrow结构的光栅，该方法为先根据准分子激光的波前信息实时调节施加于柔性变焦模块上的驱动值；然后根据该驱动值对准分子激光进行整形和线宽压缩；当准分子激光的波前畸变补偿完成时，停止调节操作并固定驱动值，以得到窄线宽准分子激光。该系统结构简单、控制有效，输出激光的线宽值连续可调；提供的方法操作简单、能够精确补偿高重频激光作用光栅后引起的波前畸变并精确控制线宽值。
- 一种产生飞秒级高通量和超高重复频率极紫外射线的装置-201920022931.X
- 徐永兵;聂忠辉;黎遥;何亮 - 南京大学
- 2019-01-08 - 2019-08-16 - H01S3/00
- 本实用新型公开了一种产生飞秒级高通量和超高重复频率极紫外射线的装置，包括：所述超高重复频率的飞秒激光器用于输出飞秒量级的激光脉冲，其重复频率最高可达MHz；所述聚焦光学元件用于将激光脉冲引导并聚焦至真空腔体内的连续性气体装置中；所述连续性气体装置用于释放气体并与聚焦后的激光脉冲相互作用后产生飞秒级极紫外射线；所述真空系统用于吸收气体装置中多余气体，确保装置内的真空度；所述监控系统用于监控激光和气体装置的相互作用，避免装置被激光击穿。本实用新型结构简单，操作便捷，所形成的高通量和超高重复频率极紫外射线具有飞秒级别的脉冲宽度，能够为光电子能谱等科学仪器应用提供优质光源，大大提高测量效率，有助于超快领域研究。
- 一种激光脉宽压缩器-201920117877.7
- 汤燕鹏;李莹 - 中山铟尼镭斯科技有限公司
- 2019-01-23 - 2019-08-16 - H01S3/00
- 本实用新型公开了一种激光脉宽压缩器，包括第一光纤准直器组件、平行排列的第一透射型光栅和第二透射型光栅以及第二光纤准直器组件；通过采用具有最大线数为1600线/mm的透射型光栅取代现有激光脉宽压缩器仅有600线/mm的反射型光栅，能够在很短的空间内提供足够大的色散来压缩激光脉宽，本实用新型具有结构简单，激光脉宽压缩效果显著的优点。
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