[发明专利]用于质量流量控制器的填充件及质量流量控制器在审
| 申请号： | 201910584898.4 | 申请日： | 2019-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN110209210A | 公开（公告）日： | 2019-09-06 |
| 发明（设计）人： | 杜井庆;苏乾益;何漫丽 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创流量计有限公司 |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京市北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于质量流量控制器的填充件，所述质量流量控制器包括流体通道、流量调节装置和流量检测装置，所述填充件设置在所述流体通道位于所述流量调节装置和所述流量检测装置之间的通道段中，用于减小所述通道段的流通体积。应用本发明提供的的用于质量流量控制器的填充件，设置在流体通道位于流量调节装置和流量检测装置之间的通道段内，可以影响质量流量控制器的响应时间，可以通过减小通道段中的气体流通体积，减少通道段中气体流通时间，从而达到提高小流量质量流量控制器响应速度的目的，满足采用压电阀的质量流量控制器快速响应的要求，尤其适用于几sccm到几百sccm流量的快速响应控制。 | ||
| 搜索关键词： | 质量流量控制器 通道段 填充件 流量调节装置 流量检测装置 流体通道 快速响应 气体流通 减小 小流量 压电阀 响应 流通 应用 | ||
【主权项】：
1.一种用于质量流量控制器的填充件，所述质量流量控制器包括流体通道、流量调节装置和流量检测装置，其特征在于，所述填充件设置在所述流体通道位于所述流量调节装置和所述流量检测装置之间的通道段中，用于减小所述通道段的流通体积。
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