[发明专利]用于质量流量控制器的填充件及质量流量控制器在审
| 申请号： | 201910584898.4 | 申请日： | 2019-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN110209210A | 公开（公告）日： | 2019-09-06 |
| 发明（设计）人： | 杜井庆;苏乾益;何漫丽 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创流量计有限公司 |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京市北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 质量流量控制器 通道段 填充件 流量调节装置 流量检测装置 流体通道 快速响应 气体流通 减小 小流量 压电阀 响应 流通 应用 | ||
1.一种用于质量流量控制器的填充件，所述质量流量控制器包括流体通道、流量调节装置和流量检测装置，其特征在于，所述填充件设置在所述流体通道位于所述流量调节装置和所述流量检测装置之间的通道段中，用于减小所述通道段的流通体积。
2.根据权利要求1所述的填充件，其特征在于，所述填充件的外周面与所述通道段的内周壁完全贴合，且在所述填充件中设置有至少一个可供流体通过的通孔。
3.根据权利要求1所述的填充件，其特征在于，所述填充件的外周面的形状被设置为：在所述填充件的外周面与所述通道段的内周壁之间形成有至少一条可供流体通过的子通道。
4.根据权利要求3所述的填充件，其特征在于，所述填充件的外周面包括沿其周向依次连接的多个子侧面；
在多个所述子侧面中，有至少一个子侧面与所述通道段的内周壁之间形成间隙，用作所述子通道，其余子侧面与所述通道段的内周壁完全贴合。
5.根据权利要求4所述的填充件，其特征在于，所述填充件的外周面在所述通道段的径向截面上的形状包括多边形、椭圆形或者长圆形。
6.根据权利要求3所述的填充件，其特征在于，在所述填充件的外周面上形成有一个或多个用作所述子通道的通槽，所述填充件的外周面除所述通槽之外的部分与所述通道段的内周壁完全贴合。
7.根据权利要求1所述的填充件，其特征在于，所述填充件采用金属丝网卷制或缠绕而成。
8.根据权利要求3所述的填充件，其特征在于，所述子通道沿所述通道段径向的宽度小于等于2毫米。
9.根据权利要求6所述的填充件，其特征在于，所述通槽在所述通道段的径向截面上的形状包括弧形、锥形或者矩形。
10.根据权利要求6所述的填充件，其特征在于，所述通槽的深度小于等于2毫米。
11.一种质量流量控制器，包括流入接口、流体通道、流量传感器、流量调节装置及流出接口，其特征在于，所述流体通道内设有如权利要求1-10任一项所述的填充件。
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