[发明专利]用于质量流量控制器的填充件及质量流量控制器

说明书

本发明提供一种用于质量流量控制器的填充件，所述质量流量控制器包括流体通道、流量调节装置和流量检测装置，所述填充件设置在所述流体通道位于所述流量调节装置和所述流量检测装置之间的通道段中，用于减小所述通道段的流通体积。应用本发明提供的的用于质量流量控制器的填充件，设置在流体通道位于流量调节装置和流量检测装置之间的通道段内，可以影响质量流量控制器的响应时间，可以通过减小通道段中的气体流通体积，减少通道段中气体流通时间，从而达到提高小流量质量流量控制器响应速度的目的，满足采用压电阀的质量流量控制器快速响应的要求，尤其适用于几sccm到几百sccm流量的快速响应控制。

技术领域

本发明涉及流量计技术领域，具体地，涉及一种用于质量流量控制器的填充件及质量流量控制器。

背景技术

通常可以将用于对气体质量流量进行测量及控制的器具称为质量流量控制器(Mass Flow Controller，简称MFC)。其主要包括流入接口、流体通道、流量检测装置、流量调节装置、流出接口及电路等，工作原理是：流体从流入接口进入流体通道，经过流量调节装置调节后，再流经流量检测装置，流量检测装置检验达到预设值后再经流出接口流出(否则继续通过流量调节装置对流经质量流量控制器的气体进行调节)其中，气体从流入接口进入直从流出接口流出之间的耗时称为质量流量控制器的响应时间。

现有技术中的质量流量控制器，其流体通道包括基座和供气体流动的通路，该通路分别与流量调节装置和流量检测装置连通，且在流量调节装置与流量检测装置之间的通路距离较长，受整体结构限制，其传输距离不能有效减少，从而使得质量流量控制器的相应时长较长，尤其对于较小的流量，质量流量控制器的响应时间往往无法达到用户需求。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种用于质量流量控制器的填充件及质量流量控制器。

为实现本发明的目的，一方面提供一种用于质量流量控制器的填充件，所述质量流量控制器包括流体通道、流量调节装置和流量检测装置，所述填充件设置在所述流体通道位于所述流量调节装置和所述流量检测装置之间的通道段中，用于减小所述通道段的流通体积。

可选地，所述填充件的外周面与所述通道段的内周壁完全贴合，且在所述填充件中设置有至少一个可供流体通过的通孔。

可选地，所述填充件的外周面的形状被设置为：在所述填充件的外周面与所述通道段的内周壁之间形成有至少一条可供流体通过的子通道。

可选地，所述填充件的外周面包括沿其周向依次连接的多个子侧面；

在多个所述子侧面中，有至少一个子侧面与所述通道段的内周壁之间形成间隙，用作所述子通道，其余子侧面与所述通道段的内周壁完全贴合。

可选地，所述填充件的外周面在所述通道段的径向截面上的形状包括多边形、椭圆形或者长圆形。

可选地，在所述填充件的外周面上形成有一个或多个用作所述子通道的通槽，所述填充件的外周面除所述通槽之外的部分与所述通道段的内周壁完全贴合。

可选地，所述填充件采用金属丝网卷制或缠绕而成。

可选地，所述子通道沿所述通道段径向的宽度小于等于2毫米。

可选地，所述通槽在所述通道段的径向截面上的形状包括弧形、锥形或者矩形。

可选地，所述通槽的深度小于等于2毫米。

为实现本发明的目的，另一方面还提供一种质量流量控制器，包括流入接口、流体通道、流量传感器、流量调节装置及流出接口，所述流体通道内设有上述的填充件。

本发明具有以下有益效果：