[发明专利]用于薄膜蒸镀用掩模组装体的复合框架要素及其制造方法有效
| 申请号： | 201910574815.3 | 申请日： | 2019-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN111945109B | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 金永周 | 申请（专利权）人： | 皮姆思株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京锺维联合知识产权代理有限公司 11579 | 代理人： | 罗银燕 |
| 地址： | 韩国仁川市防筑*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及用于蒸镀工序用掩模组装体的复合框架要素及其制造方法。掩模组装体包括用于对形成有蒸镀用开口图案的图案要素进行机械支撑的复合框架要素，上述复合框架要素包括：四边形框架；一个以上的直线条，与上述四边形框架相接合，长度方向位置上的厚度不均匀；以及格子型掩模，配置于一个以上的上述直线条上，与上述四边形框架相接合。根据本发明，本发明具有如下优点，即，在向格子型掩模和直线条施加的拉伸力并不大的状态下，可通过直线条的厚度不同的部分，来在格子型掩模的中心部分提供垂直支撑力，因此，可同时减少格子型掩模下垂量及框架弯曲程度，从而提高掩模位置精密度。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 薄膜 蒸镀用掩 模组 复合 框架 要素 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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