[发明专利]用于薄膜蒸镀用掩模组装体的复合框架要素及其制造方法

权利要求书

1.一种用于蒸镀工序用掩模组装体的复合框架要素，其中的掩模组装体包括用于对形成有蒸镀用开口图案的图案要素进行机械支撑的复合框架要素，上述用于蒸镀工序用掩模组装体的复合框架要素的特征在于，上述复合框架要素包括：

四边形框架，形成有双层接合槽，上述双层接合槽的两个侧部分别具有阶梯状的下部面和上部面；

一个以上的直线条，与上述四边形框架的双层接合槽的下部面相接合，长度方向位置上的厚度不均匀；以及

格子型掩模，配置于一个以上的上述直线条上，与上述四边形框架的双层接合槽的上部面相接合。

2.根据权利要求1所述的用于蒸镀工序用掩模组装体的复合框架要素，其特征在于，上述直线条形成基础区间和突起部区间在长度方向上反复相间的形状，基础区间的厚度相同，突起部区间的厚度为上述基础区间的厚度的10倍～30倍。

3.根据权利要求1所述的用于蒸镀工序用掩模组装体的复合框架要素，其特征在于，上述直线条形成将厚度被预先限定的金属片接合在厚度均匀的薄膜基础金属条的表面中的规定位置的形状。

4.根据权利要求1所述的用于蒸镀工序用掩模组装体的复合框架要素，其特征在于，上述直线条形成通过压印方式来在厚度均匀的薄膜基础金属条的规定位置形成高度被预先限定的凸出部的形状。

5.根据权利要求1所述的用于蒸镀工序用掩模组装体的复合框架要素，其特征在于，上述直线条以平行排列的多个直线条排列形式供给，对于上述直线条排列而言，随着从上述格子型掩模的边缘走向其中心部分，规定位置上的厚度更大。

6.一种用于蒸镀工序用掩模组装体的复合框架要素的制造方法，其特征在于，包括：

直线条准备步骤，准备薄膜金属材质且长度方向位置上的厚度并不均匀的直线条；

直线条接合步骤，拉伸所准备的直线条来将其两端接合在四边形框架的对置的接合槽的下部；以及

格子型掩模接合步骤，测定所接合的直线条的各个位置的下垂量，考虑到所测定的直线条的下垂量来拉伸格子型掩模并接合在上述四边形框架的接合槽的上部。

7.根据权利要求6所述的用于蒸镀工序用掩模组装体的复合框架要素的制造方法，其特征在于，上述直线条准备步骤包括准备如下形状的直线条的步骤，即，形成基础区间和突起部区间在长度方向上反复相间的形状，基础区间的厚度与上述格子型掩模的厚度相同，突起部区间的厚度为上述格子型掩模的厚度的10倍～30倍。

8.根据权利要求6所述的用于蒸镀工序用掩模组装体的复合框架要素的制造方法，其特征在于，上述直线条准备步骤包括将厚度被预先限定的金属片接合在厚度均匀的薄膜基础金属条的表面中的规定位置的步骤。

9.根据权利要求6所述的用于蒸镀工序用掩模组装体的复合框架要素的制造方法，其特征在于，上述直线条准备步骤包括通过压印方式来在厚度均匀的薄膜基础金属条的规定位置形成高度被预先限定的凸出部的步骤。

10.根据权利要求6所述的用于蒸镀工序用掩模组装体的复合框架要素的制造方法，其特征在于，在上述直线条接合步骤中，多个上述直线条平行地排列来以直线条排列形式接合，在多个上述直线条的直线条排列中，各个直线条以厚度随着从上述格子型掩模的边缘走向其中心部分逐渐变大的方式形成。