[发明专利]用于大尺寸微结构阵列接力加工的换刀拼接结构和方法在审

专利信息
申请号: 201910547616.3 申请日: 2019-06-24
公开(公告)号: CN110270886A 公开(公告)日: 2019-09-24
发明(设计)人: 陈远流;陈甫文 申请(专利权)人: 浙江大学
主分类号: B23Q17/22 分类号: B23Q17/22;B23Q17/00
代理公司: 杭州宇信知识产权代理事务所(普通合伙) 33231 代理人: 王健
地址: 310058 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明提供了一种用于大尺寸微结构阵列接力加工的换刀拼接方法,包括如下步骤:S1、检测刀具与工件在纵向和横向的接触力大小;S2、控制刀具在工件表面沿着加工微结构的形貌进行位移扫描,同时结合参考信号通过闭环控制使所述纵向和横向接触力的大小保持不变;S3、基于位移传感器测得的刀具位移,获取刀具扫描路径;S4、基于获取的刀具扫描路径,将新刀具定位到旧刀具加工停止点。本发明的方法直接将刀具自身作为扫描探针使用,在加工功能基础上集成测量功能,利用加工系统自身完成定位功能,避免了加工仪器和测量仪器的相互独立而引起的坐标难以标定问题。
搜索关键词: 刀具 微结构阵列 刀具扫描 加工 换刀 接力 形貌 横向接触力 位移传感器 闭环控制 测量仪器 刀具加工 刀具位移 定位功能 工件表面 功能基础 集成测量 加工系统 加工仪器 拼接结构 扫描探针 位移扫描 接触力 停止点 微结构 标定 拼接 检测
【主权项】:
1.一种用于大尺寸微结构阵列接力加工的换刀拼接结构,其特征在于,包括:两轴快速刀具伺服系统,其配置有纵向/横向PZT驱动模块,所述纵向/横向PZT驱动模块分别集成有力传感器和电容式位移传感器;可更换刀具,其安装于所述两轴快速刀具伺服系统上;X/Y/Z方向滑座,用于驱动所述两轴快速刀具伺服系统在X/Y/Z方向位移,进而带动刀具在X/Y/Z方向移动;直线编码器,其分别配置于所述X/Y/Z方向滑座上,用于测量刀具在X/Y/Z方向上的位移;以及控制系统,其分别连接所述力传感器、电容式位移传感器、X/Y/Z方向滑座和直线编码器;其中,所述控制系统用于通过所述力传感器检测刀具与工件在纵向和横向的接触力大小,控制刀具在工件表面沿着加工微结构的形貌进行位移扫描,同时结合参考信号通过闭环控制使所述纵向和横向接触力的大小保持不变,基于所述直线编码器和电容式位移传感器测得的刀具位移,获取刀具扫描路径;以及,基于获取的刀具扫描路径,将新刀具定位到旧刀具加工停止点。
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