[发明专利]一种多晶硅生产方法及系统有效
| 申请号： | 201910543890.3 | 申请日： | 2019-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN112110449B | 公开（公告）日： | 2022-06-28 |
| 发明（设计）人： | 银波;王文;范协诚;陈劲风;闵中龙;仝少超;宋高杰 | 申请（专利权）人： | 新特能源股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 罗建民;邓伯英 |
| 地址： | 830011 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐国*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | 本发明提供一种多晶硅生产方法，包括以下步骤：在反应开始前，先利用微波将还原炉中的硅芯加热至第一设定温度，然后将硅芯击穿后再施加电流，以在硅芯的表面化学沉积多晶硅，得到硅棒；在反应过程中，如对硅棒断电，则在断电后重启前，先利用微波将硅棒加热至第二设定温度，然后将硅棒击穿后再施加电流，以在硅棒表面继续化学沉积多晶硅。本发明还提供一种多晶硅生产系统，包括馈能单元和防护单元，馈能单元包括馈能天线，馈能天线设于还原炉上的能够与还原炉内部连通的开口处，用于产生和发射微波；防护单元用于将馈能天线与还原炉内的氛围隔开，以保护馈能天线。本发明能够实现多晶硅的平稳生长，得到性能良好的多晶硅产品，以提高产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 生产 方法 系统 | ||
【主权项】：
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