[发明专利]一种基于平面样品转截面样品的特定微小区域标定方法在审
| 申请号： | 201910505783.1 | 申请日： | 2019-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN112083022A | 公开（公告）日： | 2020-12-15 |
| 发明（设计）人： | 蔡齐航;谢亚珍;郭语柔 | 申请（专利权）人： | 苏试宜特（上海）检测技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/2202 | 分类号： | G01N23/2202;G01N23/2005;G01N1/28 |
| 代理公司： | 上海唯源专利代理有限公司 31229 | 代理人： | 曾耀先 |
| 地址： | 201100 上海市闵*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明的一种基于平面样品转截面样品的特定微小区域标定方法，包括步骤：将平面样品放入透射电子显微镜中观察，并记录平面样品上的特定微小区域的位置信息；根据记录的位置信息对对平面样品进行金属线性沉积，于平面样品上形成线性路径；将带有线性路径的平面样品放入透射电子显微镜中，观察线性路径是否落入特定微小区域内：若是，则以该线性路径作为将平面样品转截面样品时的执行位置；若不是，则再次对所述平面样品进行所述金属线性沉积，直至有所述线性路径落入所述特定微小区域内为止。本发明弥补了扫描式电子显微镜分辨率不高的缺点，可以对特定微小区域进行精准的定位，避免了误认盲切，能够得到符合要求的截面样品。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 平面 样品 截面 特定 微小 区域 标定 方法 | ||
【主权项】：
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