[发明专利]用于金属零件表面的热化学处理的等离子处理和反应器在审
| 申请号： | 201910503517.5 | 申请日： | 2015-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN110129746A | 公开（公告）日： | 2019-08-16 |
| 发明（设计）人： | C·宾德;E·A·贝尔纳代利;G·海姆斯;A·N·克雷恩;T·D·S·拉弥;R·宾德 | 申请（专利权）人： | 圣卡塔琳娜州联邦大学 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C16/50;H01J37/32;H01J37/34 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 郭思宇 |
| 地址： | 巴西圣*** | 国省代码： | 巴西;BR |
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| 摘要： | 本发明涉及用于金属零件表面的热化学处理的等离子处理和反应器。反应器(R)具有反应室(RC)，该反应室设有用于金属零件(1)的支撑体(S)并且设有与接地(2b)连接的阳极系统(2)和与支撑体(S)并且与脉动DC电源(10)连接的阴极系统(3)。在被加热并且被供给气体负载的反应室中，通过阴极中的放电，形成气体等离子体。液体或气体前体被准许进入与高电压能源(30)相关联的至少一个管状裂解室(20)中。可提供与电源(50)相关联的接收固体前体的至少一个管状溅射室(40)。在阳极(2)与所述管状室(20、40)中的一个或另一个之间施加电势差，以同时或单独地并且以任何次序地释放要对着金属零件(1)被离子轰击的合金元素。 | ||
| 搜索关键词： | 反应器 反应室 金属零件表面 等离子处理 热化学处理 金属零件 支撑体 阴极 气体等离子体 关联 阳极 供给气体 固体前体 合金元素 离子轰击 气体前体 阳极系统 阴极系统 接地 单独地 电势差 高电压 管状室 溅射室 裂解室 放电 脉动 加热 准许 电源 施加 释放 能源 | ||
【主权项】：
1.一种在具有反应室(RC)的等离子体反应器(R)中热化学处理金属零件的表面的方法，反应室具有：承载金属零件(1)的支撑体(S)；阳极(2)和阴极(3)的系统，该系统的电极(2a)中的一个与高电压脉动DC电源(10)相关联；可离子化气体负载的入口(4)；和用于排空气体负载的出口(6)，所述方法的特征在于包括以下步骤：a)将阳极(2)连接到第一电极(2a)和接地(2b)，并将阴极(3)连接到作为阳极(2)和阴极(3)的系统的另一电极(3a)工作的支撑体(S)并且连接到脉动DC电源(10)的负电势；b)将金属零件(1)静置在与反应室(RC)内部的阴极(3)相关联的支撑体(S)中；c)用通过入口(4)供给到反应室(RC)的可离子化气体负载围绕支撑体(S)和金属零件(1)；d)将反应室(RC)的内部加热至工作温度；e)向与支撑体(S)和金属零件(1)相关联的阴极(3)施加放电，以使得形成围绕金属零件(1)和支撑体(S)的具有高动能的离子的气体等离子体；f)提供在管状溅射室(40)内限定的固体前体，所述管状溅射室具有向反应室(RC)内部开口的一个端部(41)并且与电源(50)相关联；g)在至少一个管状溅射室(40)与阳极(2)和阴极(3)的系统的阳极(2)之间施加电势差，以提供固体前体的溅射，从所述固体前体释放要对着通过脉动DC电源(10)负极化的金属零件(1)的表面被离子轰击的合金元素到反应室(RC)内；以及h)提供从反应室(RC)的内部的气体负载的排空。
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