[发明专利]一种采用低温等离子体制备多孔性热障涂层的装置及方法

摘要

本发明公开一种采用低温等离子体制备多孔性热障涂层的装置及方法，主要应用在注塑模具型腔表面的涂层制备上。所述装置包括等离子体反应腔、高压电源、放置嵌件的三维移动平台、预热台、前驱体样品池、成孔剂样品池、气路控制器、气体瓶、真空泵、高压电极、地电极、反应室和待加工基体。通过高压电源在高压电极和地电极之间产生放电，通入载气和激励气体形成放电等离子体，载气将溶液中的前驱体和成孔剂分别送入等离子体反应腔中，在等离子体的作用下在基体表面形成多孔性热障涂层。本发明的有益效果是：利用高能电子或活性自由基在基体表面发生反应，避免了高温等离子体喷涂所存在的等离子体接触基体表面产生温度骤降而造成的一系列问题。

主权项

1.一种采用低温等离子体制备多孔性热障涂层的装置，其特征在于：包括等离子体反应腔、高压电源、三维移动平台、预热台、前驱体样品池、成孔剂样品池、气路控制器、气体瓶、真空泵、高压电极、地电极、反应室和待加工基体。所述的等离子体反应腔包括有高压电极、地电极；所述的反应室由等离子体反应腔、三维移动平台和预热台构成。所述的高压电源与等离子体反应腔体的高压端连接，工作气体经由气体瓶分别输运至前驱体样品池和成孔剂样品池，由气路控制器控制气体流量。在高压电极和地电极之间产生等离子体，前驱体和成孔剂经由两路气体同时送入等离子体反应腔中；所述的真空泵与反应室连接；被处理的基体放置于预热台上，预热台放置于三维移动平台上。