[发明专利]一种LED外延片制备工艺废气回收方法及装置在审
| 申请号： | 201910423123.9 | 申请日： | 2019-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN110143576A | 公开（公告）日： | 2019-08-20 |
| 发明（设计）人： | 王耀亮;王冶秋 | 申请（专利权）人： | 上海跃绅能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B3/56 | 分类号： | C01B3/56;C01B21/06;C01C1/12;F25J3/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201114 上海市闵行区新骏环*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及废气回收技术领域，具体涉及一种LED外延片制备工艺废气回收方法及装置。回收方法具体包括以下步骤：将LED外延片制备工艺废气进行尾气收集，并对尾气进行粉尘过滤获得第一过滤尾气；将所述第一过滤尾气进行增压并加热反应，冷却并过滤除去尾气中的MO源获得第二过滤尾气；将所述第二过滤尾气进行冷凝分离和精馏，获得除氨尾气和工业液氨；将所述除氨尾气进行水喷淋，并进行分子筛脱水和变压吸附，获得高纯氢气。该回收方法工艺过程简单，且对废气中的氨气、氢气以及三甲基镓(TMGa)进行了回收利用，避免了能源的浪费，减少了废气的排放，具有良好的环保性和经济性。 | ||
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【主权项】：
1.一种LED外延片制备工艺废气回收方法，其特征在于，所述回收方法具体包括以下步骤：将LED外延片制备工艺废气进行尾气收集，并对尾气进行颗粒杂质过滤获得第一过滤尾气；将所述第一过滤尾气进行增压并加热反应，冷却并过滤除去尾气中的MO源获得第二过滤尾气；将所述第二过滤尾气进行冷凝分离和精馏，获得除氨尾气和工业液氨；将所述除氨尾气进行水喷淋，并进行分子筛脱水和变压吸附，获得高纯氢气。
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- 本发明涉及废气回收技术领域，具体涉及一种LED外延片制备工艺废气回收方法及装置。回收方法具体包括以下步骤：将LED外延片制备工艺废气进行尾气收集，并对尾气进行粉尘过滤获得第一过滤尾气；将所述第一过滤尾气进行增压并加热反应，冷却并过滤除去尾气中的MO源获得第二过滤尾气；将所述第二过滤尾气进行冷凝分离和精馏，获得除氨尾气和工业液氨；将所述除氨尾气进行水喷淋，并进行分子筛脱水和变压吸附，获得高纯氢气。该回收方法工艺过程简单，且对废气中的氨气、氢气以及三甲基镓(TMGa)进行了回收利用，避免了能源的浪费，减少了废气的排放，具有良好的环保性和经济性。
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- 本实用新型公开了一种氢气回收利用装置，包括活性炭吸附罐、封水罐、缓冲罐、阻火器和氢气压缩机，氢气洗涤塔分别和阻火器、封水罐、活性炭吸附罐连通，活性炭吸附罐的出气口连接缓冲罐的进气口，缓冲罐的出气口连接氢气压缩机的进气口，氢气洗涤塔和阻火器之间设有第二控制阀，活性炭吸附罐和缓冲罐之间设有第三控制阀，氢气洗涤塔的进气口设有第一压力传感器，第一压力传感器、第二控制阀和第三控制阀分别和控制器连接。第二控制阀和第三控制阀根据氢气洗涤塔进气口的气压调节开度，提高活性炭吸附罐的吸附效果。封水罐在第二控制阀运行中出现故障时无法打开或者氢气压缩机突然跳机时，封水罐就会起到安全保护作用。
- 一种多晶硅循环氢气的提纯方法-201811076285.1
- 冉祎;余涛;何鹏;聂秋艳;王琴 - 四川永祥多晶硅有限公司
- 2018-09-14 - 2018-12-11 - C01B3/56
- 本发明公开一种多晶硅循环氢气的提纯方法，包括：多晶硅循环氢气经两性离子交换树脂进行吸附，得到提纯后的氢气；所述提纯方法采用两性离子交换树脂，能够得到更高的杂质吸附能力，得到的提纯后的氢气纯度高；同时，能够长时间稳定地使用，能够削减长期运转中的树脂使用量，能够削减使用后的树脂废弃费用。
- 一种从合成氨驰放气中回收氢气的系统-201710351910.8
- 韩菲;牛玉振;刘宾;王剑峰;王居毅;郭俊强;杨凯远;胡丽春 - 杭州福斯达深冷装备股份有限公司
- 2017-05-18 - 2018-12-07 - C01B3/56
- 本发明公开了一种从合成氨驰放气中回收氢气的系统，包括分子筛干燥器(A/B)、过滤器、高压板翅式换热器、高压球形分离器、低温气液分离器、调节阀Ⅰ和调节阀Ⅱ，所述分子筛干燥器（A/B）设置在氨回收下游，所述分子筛干燥器（A/B）下游设置有过滤器，所述过滤器的出口端连接高压板翅式换热器，本发明从合成氨驰放气中回收氢气的系统是采用一种等压回收氢的低温技术，压缩功损耗少，回收的高压富氢气可直接返回到合成气压缩机循环段入口；本发明能量消耗比普里森膜分离装置低，并且进出口气体温差只有4℃左右，本发明从合成氨驰放气中回收氢气的系统从本质上保证了冷凝分离过程的安全、稳定运行，可以保证91%以上的氢气回收。
- 一种甲醇制氢设备中的气液分离装置-201820813608.X
- 申孟强;卿明祥;祁国安;张茂;辜俊 - 成都升力科技有限责任公司
- 2018-05-29 - 2018-12-07 - C01B3/56
- 本实用新型公开了一种甲醇制氢设备中的气液分离装置，包括桶体，所述桶体底部设有电控阀门，所述电控阀门上连接有中空的进气杆，所述进气杆上方设有折流板，进气杆的顶端设有干簧管，进气杆上套设有磁性浮子，所述桶体外设有控制器，所述电控阀门、干簧管与所述控制器电连接；所述折流板与桶体顶部之间设有连接轴，所述连接轴上套设有多层叶片，所述叶片包括第一环形板、第二环形板和第三环形板，所述第一环形板套设在连接轴上，且第一环形板与所述第二环形板之间设有多个第一斜板，所述第二环形板与第三环形板之间设有多个第二斜板。本实用新型具有体积小、重量轻、气液分离效果好和可自动排水的优点。
- 一种超纯氢气生产系统-201820536436.6
- 刘金伟;张会军;白婷 - 兰州弘昌特种气体有限公司
- 2018-04-16 - 2018-11-09 - C01B3/56
- 本实用新型公开了一种超纯氢气生产系统，属于气体纯化技术领域。本实用新型系统在高压以及液氮的低温环境下，采用循环吸附工艺生产超纯氢气，通过安装检测器，当氢气纯度检测合格后再进行充装作业，若不合格则进入吸附循环，保证了成品氢气质量，节约了人力电力，减少了冷媒的浪费，具有安全高效的特点。该系统中设有吸附剂纯化系统，可通过加热对吸附剂进行在线活化，安全有效，能耗低；且只要有普通气体的生产场所就可以实现超纯氢气的安全生产，充装过程中随时都可停机，且停电等突发状况都不影响超纯氢气的质量，适用性强。
- 制氢装置和氢纯化设备-201510896209.5
- 戴维.J.埃德隆 - 埃利门特第一公司
- 2012-07-03 - 2018-10-23 - C01B3/56
- 本发明公开了氢纯化设备，包括：具有入口、出口和副产品口的第一和第二端板；被布置在第一和第二端板之间并具有进料侧和渗透侧的至少一个氢‑选择性膜；和构造为支撑所述至少一个氢‑选择性膜的微孔筛网结构，其中所述微孔筛网结构包括大体相对的表面，其构造为对渗透侧和多个在所述相对表面之间延伸的流体通路提供支持。
- 专利分类
