[发明专利]一种铜铟镓硒薄膜太阳能电池吸收层及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201910372254.9 申请日: 2019-05-06
公开(公告)号: CN110323292A 公开(公告)日: 2019-10-11
发明(设计)人: 彭寿;马立云;李刚;姚婷婷;王天齐;彭塞奥;金克武 申请(专利权)人: 中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司
主分类号: H01L31/032 分类号: H01L31/032;H01L31/0352;H01L31/18
代理公司: 安徽省蚌埠博源专利商标事务所 34113 代理人: 陈俊
地址: 233010 安徽*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开一种铜铟镓硒薄膜太阳能电池吸收层,包括m组相层叠的基础吸收层,每组基础吸收层均包含由下至上层叠的铜铟镓膜层与硒膜层,2≤m≤5;在制备时按以下步骤:S1、采用磁控溅射工艺,在薄膜太阳能电池背电极上沉积铜铟镓膜层;S2、采用真空蒸镀或者磁控溅射工艺在铜铟镓膜层上沉积硒膜层,得到由铜铟镓膜层与硒膜层构成的基础吸收层;S3、重复步骤S1与S2的沉积过程,层叠m组基础吸收层,得到铜铟镓硒前驱体,2≤m≤5;S4、将铜铟镓硒前驱体置于真空硒化炉中进行RTP退火,得到铜铟镓硒薄膜太阳能电池吸收层;该吸收层解决了现有产品中存在的Ga偏析的问题,提高薄膜太阳能电池的开路电压及光电转换效率,且制备方法简单。
搜索关键词: 基础吸收 吸收层 铜铟镓硒薄膜太阳能电池 膜层 铜铟镓 硒膜 制备 薄膜太阳能电池 磁控溅射工艺 铜铟镓硒 前驱体 沉积 退火 光电转换效率 沉积铜铟镓 开路电压 真空硒化 真空蒸镀 背电极 炉中 偏析 重复
【主权项】:
1.一种铜铟镓硒薄膜太阳能电池吸收层,其特征在于,包括m组相层叠的基础吸收层,每组基础吸收层均包含由下至上层叠的铜铟镓膜层与硒膜层,2≤m≤5。
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