[发明专利]一种微型真空泵抽气性能测试装置及方法

摘要

本发明涉及真空仪器仪表技术领域，尤其涉及一种微型真空泵抽气性能测试装置及方法。该微型真空泵抽气性能测试装置包括第一密封罩、第二密封罩、第一阀门、第二阀门、密封容器、计量单元和测量单元；第一密封罩与第二密封罩连通，第二密封罩的出口端用于与待测微型真空泵的进气口连通；第一阀门设置于第一密封罩与所第二密封罩之间；第二阀门设置于第二密封罩的出口端；密封容器的入口端用于与待测微型真空泵的出气口连通，其内盛装有液体；计量单元用于称量所述密封容器重量；测量单元用于测量所述第一密封罩内的真空度。本发明提供的微型真空泵抽气性能自动测试装置及方法，操作简单，节省了人力物力，提高了测试效率。

主权项

1.一种微型真空泵抽气性能测试装置，其特征在于，包括第一密封罩、第二密封罩、第一阀门、第二阀门、密封容器、计量单元和测量单元；其中，所述第一密封罩与所述第二密封罩连通，所述第二密封罩的出口端用于与待测微型真空泵的进气口连通；所述第一阀门设置于所述第一密封罩与所述第二密封罩之间，用于控制所述第一密封罩与所述第二密封罩的连通或断开；所述第二阀门设置于所述第二密封罩的出口端，用于控制所述第二密封罩与所述待测微型真空泵的连通或断开；所述密封容器的入口端用于与所述待测微型真空泵的出气口连通，其内盛装有液体，所述待测微型泵能向所述密封容器内输送气体，且所述密封容器的出口端能排出与进入其内的所述气体相同体积的所述液体；所述计量单元用于称量所述密封容器质量；所述测量单元用于测量所述第一密封罩内的真空度。