[发明专利]一种微型真空泵抽气性能测试装置及方法

权利要求书

1.一种微型真空泵抽气性能测试装置，其特征在于，包括第一密封罩、第二密封罩、第一阀门、第二阀门、密封容器、计量单元和测量单元；其中，

所述第一密封罩与所述第二密封罩连通，所述第二密封罩的出口端用于与待测微型真空泵的进气口连通；

所述第一阀门设置于所述第一密封罩与所述第二密封罩之间，用于控制所述第一密封罩与所述第二密封罩的连通或断开；

所述第二阀门设置于所述第二密封罩的出口端，用于控制所述第二密封罩与所述待测微型真空泵的连通或断开；

所述密封容器的入口端用于与所述待测微型真空泵的出气口连通，其内盛装有液体，所述待测微型泵能向所述密封容器内输送气体，且所述密封容器的出口端能排出与进入其内的所述气体相同体积的所述液体；

所述计量单元用于称量所述密封容器质量；

所述测量单元用于测量所述第一密封罩内的真空度。

2.根据权利要求1所述的微型真空泵抽气性能测试装置，其特征在于，

所述第一密封罩的容积大于所述第二密封罩的容积。

3.根据权利要求1所述的微型真空泵抽气性能测试装置，其特征在于，还包括：

第三阀门，所述第三阀门设置于所述第一密封罩的入口端，用于控制所述第一密封罩与外界的连通或断开。

4.根据权利要求3所述的微型真空泵抽气性能测试装置，其特征在于，还包括：

第四阀门，所述第四阀门设置于所述密封容器的入口端，用于控制所述密封容器与所述待测微型真空泵的连通或断开。

5.根据权利要求4所述的微型真空泵抽气性能测试装置，其特征在于，还包括：

控制单元，所述控制单元分别与所述第一阀门、所述第二阀门、所述第三阀门、所述第四阀门、所述待测微型真空泵、所述计量单元以及所述测量单元电连接；

上位机，所述上位机与所述控制单元电连接，用于向所述控制单元发出控制指令以及对测试过程中的数据进行计算。

6.根据权利要求1所述的微型真空泵抽气性能测试装置，其特征在于，还包括:

集液容器，所述集液容器与所述密封容器的出口端连通，用于收集所述密封容器排出的所述液体。

7.根据权利要求6所述的微型真空泵抽气性能测试装置，其特征在于，

所述密封容器的入口端用于通过第一管路与所述待测微型真空泵的出气口连通；

所述密封容器的出口端通过第二管路与所述集液容器连通；

所述第一管路和所述第二管路的端部均伸入所述密封容器内，且所述第一管路的伸入长度小于所述第二管路的伸入长度。

8.一种微型真空泵抽气性能测试方法，应用于权利要求1至7中任一项所述的微型真空泵抽气性能测试装置，其特征在于，包括：

将待测微型真空泵的进气口和出气口依次分别与第二密封罩的出口端和密封容器的入口端连通；

关闭第一阀门，开启第二阀门和所述待测微型真空泵，所述待测微型真空泵将从所述第二密封罩内的抽取的气体排入所述密封容器内，使所述密封容器排出与进入其内的气体相同体积的液体；

计量单元称取所述密封容器的实时质量，测量单元测量第一密封罩内的实时真空度；

待所述计量单元的示数稳定后，关闭所述第二阀门，开启所述第一阀门，使所述第一密封罩和所述第二密封罩内气体达到压力平衡；

根据所述计量单元的质量值和所述测量单元的真空度值，依次分别按照第一预设公式和第二预设公式，计算所述待测微型真空泵的抽气速度和极限压强。

9.根据权利要求8所述的测试方法，其特征在于，所述微型真空泵抽气性能测试装置还包括第三阀门，所述第三阀门设置于所述第一密封罩的入口端；在所述根据所述计量单元的重量值和所述测量单元的真空度值，依次分别按照第一预设公式和第二预设公式，计算所述待测微型真空泵的抽气速度和极限压强之后，所述测试方法还包括：

开启所述第三阀门，使所述微型真空泵抽气性能测试装置恢复至大气压状态。