[发明专利]一种微型真空泵抽气性能测试装置及方法

说明书

本发明涉及真空仪器仪表技术领域，尤其涉及一种微型真空泵抽气性能测试装置及方法。该微型真空泵抽气性能测试装置包括第一密封罩、第二密封罩、第一阀门、第二阀门、密封容器、计量单元和测量单元；第一密封罩与第二密封罩连通，第二密封罩的出口端用于与待测微型真空泵的进气口连通；第一阀门设置于第一密封罩与所第二密封罩之间；第二阀门设置于第二密封罩的出口端；密封容器的入口端用于与待测微型真空泵的出气口连通，其内盛装有液体；计量单元用于称量所述密封容器重量；测量单元用于测量所述第一密封罩内的真空度。本发明提供的微型真空泵抽气性能自动测试装置及方法，操作简单，节省了人力物力，提高了测试效率。

技术领域

本发明涉及真空仪器仪表技术领域，尤其涉及一种微型真空泵抽气性能测试装置及方法。

背景技术

随着仪器仪表工业的蓬勃发展，体积小巧、无油环保的微型真空泵得到了越来越广泛的使用。

目前，由于微型真空泵流量小、持续时间长并且对测试参数精度要求高，对微型真空泵单位时间内气体体积的变化量以及极限压强的测量须通过复杂的过程进行逐一测试，操作复杂，浪费人力物力，测试效率较低。

发明内容

(一)要解决的技术问题

针对现有存在的技术问题，本发明提供一种微型真空泵抽气性能测试装置及方法，解决了现有技术中微型真空泵抽气性能测试操作复杂，浪费人力物力，测试效率较低的问题。

(二)技术方案

为了达到上述目的，本发明采用的主要技术方案包括：

本发明提供一种微型真空泵抽气性能测试装置，包括第一密封罩、第二密封罩、第一阀门、第二阀门、密封容器、计量单元和测量单元；其中，

所述第一密封罩与所述第二密封罩连通，所述第二密封罩的出口端用于与待测微型真空泵的进气口连通；

所述第一阀门设置于所述第一密封罩与所述第二密封罩之间，用于控制所述第一密封罩与所述第二密封罩的连通或断开；

所述第二阀门设置于所述第二密封罩的出口端，用于控制所述第二密封罩与所述待测微型真空泵的连通或断开；

所述密封容器的入口端用于与所述待测微型真空泵的出气口连通，其内盛装有液体，所述待测微型真空泵能向所述密封容器内输送气体，且所述密封容器的出口端能排出与进入其内的所述气体相同体积的所述液体；

所述计量单元用于称量所述密封容器质量；

所述测量单元用于测量所述第一密封罩内的真空度；

根据本发明，所述第一密封罩的容积大于所述第二密封罩的容积；

根据本发明，该微型真空泵抽气性能测试装置，还包括第三阀门，所述第三阀门设置于所述第一密封罩的入口端，用于控制所述第一密封罩与外界的连通或断开；

根据本发明，该微型真空泵抽气性能测试装置，还包括第四阀门，所述第四阀门设置于所述密封容器的入口端，用于控制所述密封容器与所述待测微型真空泵的连通或断开；

根据本发明，该微型真空泵抽气性能测试装置，还包括：

控制单元，所述控制单元分别与所述第一阀门、所述第二阀门、所述第三阀门、所述第四阀门、所述待测微型真空泵、所述计量单元以及所述测量单元电连接；

上位机，所述上位机与所述控制单元电连接，用于向所述控制单元发出控制指令以及对测试过程中的数据进行计算；

根据本发明，该微型真空泵抽气性能测试装置，还包括集液容器，所述集液容器与所述密封容器的出口端连通，用于收集所述密封容器排出的所述液体；