[发明专利]一种化学机械抛光液用硅溶胶及其制备方法有效
| 申请号： | 201910320942.0 | 申请日： | 2019-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN109867290B | 公开（公告）日： | 2020-11-27 |
| 发明（设计）人： | 左海珍 | 申请（专利权）人： | 徐州天骋智能科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/18 | 分类号： | C01B33/18;C09G1/02;B82Y40/00;B82Y30/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 221000 江苏省徐州市高新技术产*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种化学机械抛光液用硅溶胶，通过高岭土提纯处理，利用制浆分级获得磁选料‑梯度磁选除铁钛‑焙烧增白‑高温钙化，最终获得硅溶胶原料用氧化硅，有效的提高了高岭土在抛光领域的使用范围，便于向高精度化学机械抛光领域拓展，且制备的氧化硅纳米颗粒尺寸均一，分散性良好，适于作为蓝宝石抛光液中硅元素的原材料。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械抛光 硅溶胶 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种化学机械抛光液用硅溶胶，其特征在于所述硅溶胶中的硅元素来自于高岭土中提纯的CaO.SiO2粉体，CaO.SiO2粉体中SiO2含量大于97wt.%，由所述硅溶胶制备的氧化硅纳米颗粒的尺寸集中分布于50‑60nm，D98≤75nm。
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