[发明专利]一种全包裹派瑞林镀膜工艺及镀膜装置

摘要

本发明公开了一种全包裹派瑞林镀膜工艺及镀膜装置，属于化学气相沉积技术领域，将待镀膜工件放在移动平台上，将移动平台放入真空沉积室内；将真空沉积室密封并通过真空系统抽至真空；利用冷却控制器控制真空沉积室区域温度；将派瑞林材料放入蒸发室加热气化并经裂解室裂解反应后形成气体，气体进入真空沉积室；打开振动转动执行机构，使振动转动执行机构不断振动及转动，使待镀膜工件在振动转动执行机构上移动，实现点接触；关闭加热电源，取出加工件。本发明通过滚珠滚动，实现点接触，滚珠在滚珠活动空隙内滚动，使的待镀膜工件在滚珠上滚动，实现点接触，实现待镀膜工件的全包裹镀膜，保证镀膜工件的全包裹，提高产品可靠性。

主权项

1.一种全包裹派瑞林镀膜工艺，其特征在于，包括如下步骤：步骤1：将待镀膜工件放在移动平台上，将移动平台放入真空沉积室内；步骤2：将真空沉积室密封并通过真空系统抽至真空；步骤3：利用冷却控制器将真空沉积室区域温度控制在20℃‑80℃之间；步骤4：将派瑞林材料放入蒸发室加热气化并经裂解室裂解反应后形成气体，气体进入真空沉积室；步骤5：打开振动转动执行机构，使振动转动执行机构不断振动及转动，使待镀膜工件在振动转动执行机构上移动，实现点接触；步骤6：完成后，关闭加热电源，打开真空沉积室取出加工件。