[发明专利]一种全包裹派瑞林镀膜工艺及镀膜装置

权利要求书

1.一种全包裹派瑞林镀膜工艺，其特征在于，包括如下步骤：

步骤1：将待镀膜工件放在移动平台上，将移动平台放入真空沉积室内；

步骤2：将真空沉积室密封并通过真空系统抽至真空；

步骤3：利用冷却控制器将真空沉积室区域温度控制在20℃-80℃之间；

步骤4：将派瑞林材料放入蒸发室加热气化并经裂解室裂解反应后形成气体，气体进入真空沉积室；

步骤5：打开振动转动执行机构，使振动转动执行机构不断振动及转动，使待镀膜工件在振动转动执行机构上移动，实现点接触；

步骤6：完成后，关闭加热电源，打开真空沉积室取出加工件；

所述振动转动执行机构包括移动支撑架振动装置(200)及设置在所述移动支撑架振动装置(200)上的平板镀膜移动支撑架(100)，所述移动支撑架振动装置(200)产生振动带动所述平板镀膜移动支撑架(100)使待镀膜工件在所述平板镀膜移动支撑架(100)上移动，实现点接触，所述平板镀膜移动支撑架(100)包括内部开设有若干个滚珠活动空隙(2)的支撑架体及设置在所述滚珠活动空隙(2)内的滚珠(1)。

2.根据权利要求1所述的一种全包裹派瑞林镀膜工艺，其特征在于，所述滚珠(1)为圆球形滚珠，所述滚珠(1)的直径小于所述滚珠活动空隙(2)的宽度。

3.根据权利要求2所述的一种全包裹派瑞林镀膜工艺，其特征在于，位于所述滚珠活动空隙(2)内设有滚珠导轨槽(5)，所述滚珠(1)在所述滚珠导轨槽(5)内滚动。

4.根据权利要求3所述的一种全包裹派瑞林镀膜工艺，其特征在于，位于所述滚珠导轨槽(5)的两侧设有滚珠分离器(3)，所述滚珠分离器(3)用于分离所述滚珠(1)。

5.根据权利要求4所述的一种全包裹派瑞林镀膜工艺，其特征在于，所述滚珠分离器(3)通过定位件(4)固定在所述滚珠导轨槽(5)的两侧，所述定位件(4)可以为定位螺丝，所述滚珠分离器(3)上设有滚珠空隙定位孔(6)，所述定位件(4)设置在所述滚珠空隙定位孔(6)内。

6.根据权利要求1所述的一种全包裹派瑞林镀膜工艺，其特征在于，所述移动支撑架振动装置(200)包括若干个设置在所述平板镀膜移动支撑架(100)下方的振动三角块，所述振动三角块下方设有振动滚轮，所述振动滚轮滚动带动所述平板镀膜移动支撑架(100)振动。

7.根据权利要求1所述的一种全包裹派瑞林镀膜工艺，其特征在于，所述派瑞林材料包括派瑞林C、派瑞林D、派瑞林N、派瑞林F及派瑞林HT中的一种。

8.一种全包裹派瑞林镀膜装置，其特征在于，包括移动支撑架振动装置(200)及设置在所述移动支撑架振动装置(200)上的平板镀膜移动支撑架(100)，所述移动支撑架振动装置(200)产生振动带动所述平板镀膜移动支撑架(100)使待镀膜工件在所述平板镀膜移动支撑架(100)上移动，实现点接触，所述移动支撑架振动装置(200)包括若干个设置在所述平板镀膜移动支撑架(100)下方的振动三角块，所述振动三角块下方设有振动滚轮，所述振动滚轮滚动带动所述平板镀膜移动支撑架(100)振动，所述平板镀膜移动支撑架(100)包括内部开设有若干个滚珠活动空隙(2)的支撑架体及设置在所述滚珠活动空隙(2)内的滚珠(1)，位于所述滚珠活动空隙(2)内设有滚珠导轨槽(5)，位于所述滚珠导轨槽(5)的两侧设有滚珠分离器(3)。