[发明专利]一种全包裹派瑞林镀膜工艺及镀膜装置

说明书

本发明公开了一种全包裹派瑞林镀膜工艺及镀膜装置，属于化学气相沉积技术领域，将待镀膜工件放在移动平台上，将移动平台放入真空沉积室内；将真空沉积室密封并通过真空系统抽至真空；利用冷却控制器控制真空沉积室区域温度；将派瑞林材料放入蒸发室加热气化并经裂解室裂解反应后形成气体，气体进入真空沉积室；打开振动转动执行机构，使振动转动执行机构不断振动及转动，使待镀膜工件在振动转动执行机构上移动，实现点接触；关闭加热电源，取出加工件。本发明通过滚珠滚动，实现点接触，滚珠在滚珠活动空隙内滚动，使的待镀膜工件在滚珠上滚动，实现点接触，实现待镀膜工件的全包裹镀膜，保证镀膜工件的全包裹，提高产品可靠性。

技术领域

本发明涉及一种派瑞林镀膜工艺及镀膜装置，特别是涉及一种全包裹派瑞林镀膜工艺及镀膜装置，属于化学气相沉积技术领域。

背景技术

现有的派瑞林镀膜工艺为派瑞林材料在蒸发室加热气化后，在真空压差的作用下经过裂解室向镀膜室运动，并在裂解室内发生裂解反应，裂解后气体经过管道进入镀膜室后发生聚合反应形成防水、防腐膜层，但是，现有的派瑞林镀膜工艺及装置很难能保证镀膜工件的全包裹，为了提高产品可靠性，需要开发出一种全包裹派瑞林镀膜工艺及镀膜装置。

发明内容

本发明的主要目的是为了提供一种全包裹派瑞林镀膜工艺及镀膜装置，保证镀膜工件的全包裹，提高产品可靠性。

本发明的目的可以通过采用如下技术方案达到：

一种全包裹派瑞林镀膜工艺，包括如下步骤：

步骤1：将待镀膜工件放在移动平台上，将移动平台放入真空沉积室内；

步骤2：将真空沉积室密封并通过真空系统抽至真空；

步骤3：利用冷却控制器将真空沉积室区域温度控制在20℃-80℃之间；

步骤4：将派瑞林材料放入蒸发室加热气化并经裂解室裂解反应后形成气体，气体进入真空沉积室；

步骤5：打开振动转动执行机构，使振动转动执行机构不断振动及转动，使待镀膜工件在振动转动执行机构上移动，实现点接触；

步骤6：完成后，关闭加热电源，打开真空沉积室取出加工件。

优选的，所述振动转动执行机构包括移动支撑架振动装置及设置在所述移动支撑架振动装置上的平板镀膜移动支撑架，所述移动支撑架振动装置产生振动带动所述平板镀膜移动支撑架使待镀膜工件在所述平板镀膜移动支撑架上移动，实现点接触。

优选的，所述平板镀膜移动支撑架包括内部开设有若干个滚珠活动空隙的支撑架体及设置在所述滚珠活动空隙内的滚珠。

优选的，所述滚珠为圆球形滚珠，所述滚珠的直径小于所述滚珠活动空隙的宽度。

优选的，位于所述滚珠活动空隙内设有滚珠导轨槽，所述滚珠在所述滚珠导轨槽内滚动。

优选的，位于所述滚珠导轨槽的两侧设有滚珠分离器，所述滚珠分离器用于分离所述滚珠。

优选的，所述滚珠分离器通过定位件固定在所述滚珠导轨槽的两侧，所述定位件可以为定位螺丝，所述滚珠分离器上设有滚珠空隙定位孔，所述定位件设置在所述滚珠空隙定位孔内。

优选的，所述移动支撑架振动装置包括若干个设置在所述平板镀膜移动支撑架下方的振动三角块，所述振动三角块下方设有振动滚轮，所述振动滚轮滚动带动所述平板镀膜移动支撑架振动。

优选的，所述派瑞林材料包括派瑞林C、派瑞林D、派瑞林N、派瑞林F及派瑞林HT中的一种。