[发明专利]一种在钛合金表面制备强附着力钨层的方法

摘要

一种在钛合金表面制备强附着力钨层的方法，属于金属材料表面改性技术领域。首先将金属钛片进行超声，酸洗预处理。然后利用磁控溅射技术将铜引入到钛表面，制备出中间过渡层。最后在中间过渡层表面直接化学气相沉积钨，制备出Cu/W复合涂层。本发明提供的钛合金表面制备强附着力钨层的技术，旨在通过增加中间过渡层得到结合力良好的复合涂层，为改善钛合金表面的耐热、耐腐蚀、耐磨等表面性能，扩大其应用范围提供了一条新的有效措施。

主权项

1.一种在钛合金表面制备强附着力钨层的方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)钛片预处理：首先将钛片基体表面附着的杂质和氧化皮去除，优选分别采用丙酮、乙醇、去离子水超声10min，超声后酸洗，酸洗液为HF、HNO₃混合溶液，酸洗后在去离子水中超声10min，烘干备用；(2)磁控溅射制备中间过渡层铜薄膜：以步骤(1)预处理后的钛片为基体，铜为靶材，采用直流电源进行溅射，经过抽真空、加热、预溅射、调压、溅射后，冷却至60℃取出，中间过渡层铜的厚度为1.7‑2.0μm；(3)化学气相沉积钨：试验在化学气相沉积设备中进行，试验以WF₆和H₂为反应气体，以磁控溅射铜后的钛片为基体，WF₆和H₂气体流量由针阀及流量计控制，试验时，先将反应室中的模具加热到沉积温度，并将WF₆经加热器加热到沸点以上气化后通入反应室，同时按比例通入H₂进行化学气相沉积，WF₆和H₂比例为2g：1L；工艺温度为450℃‑550℃，工艺时间为4min。