[发明专利]复合传感器及其制作方法有效
| 申请号： | 201910272024.5 | 申请日： | 2019-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN111780899B | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 李森林 | 申请（专利权）人： | 武汉杰开科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/20 | 分类号： | G01L1/20;G01L1/00;G01P15/00 |
| 代理公司： | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人： | 钟子敏 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种复合传感器及其制作方法，复合传感器包括：第一基材，及与所述第一基材层叠设置第二基材；位于所述第一基材的压力传感器，用于感知外界压力的变化；位于所述第二基材中的加速度传感器，用于感知加速度的变化；其中，所述压力传感器的压力膜与所述第二基材间隔设置，形成压力腔，所述加速度传感器的质量块与所述第一基材间隔设置，形成第一防撞腔。以使减小芯片面积及减小相互之间的干扰。 | ||
| 搜索关键词： | 复合 传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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