[发明专利]一种氧化亚铜-氧化锌异质结太阳能电池及其制备方法

摘要

本发明公开一种氧化亚铜‑氧化锌异质结太阳能电池及其制备方法，以康宁玻璃为衬底，利用磁控溅射法生长金属钛，随后在钛薄膜上溅射银电极；利用反应磁控溅射法生长氮掺杂Cu₂O薄膜；采用等离体子化学气相沉积法在氮掺杂Cu₂O薄膜表面生长微晶氧化硅薄膜；利用磁控溅射法生长铝掺杂ZnO薄膜；采用磁控溅射法生长，利用掩膜板在ZnO薄膜上溅射一层Ag电极。本发明利用微晶氧化硅中的非晶氧化硅钝化Cu₂O表面的CuO深能级缺陷，掺杂的硅纳米晶输运光生载流子，同时在生长过程中引入的氢在随后退火温度下扩散到Cu₂O之中，减少其缺陷密度，从而提高Cu₂O太阳能电池的效率。

主权项

1.一种氧化亚铜‑氧化锌异质结太阳能电池，其特征在于：具有如下的电池结构：以康宁玻璃为衬底，依次生长有金属钛层、银层、氮掺杂氧化亚铜薄膜、n型微晶氧化硅薄膜、铝掺杂氧化锌薄膜、银电极。