[发明专利]传感器件及其制造方法有效
| 申请号： | 201910251254.3 | 申请日： | 2019-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN110324772B | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 杨辰雄;郑钧文;朱家骅;陈恩湛 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R31/00 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;李伟 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 微机电系统(MEMS)麦克风包括第一膜，第二膜，设置在第一膜和第二膜之间的第三膜，设置在第一膜和第三膜之间并由第一壁围绕的第一腔体，设置在第二膜和第三膜之间并被第二壁围绕的第二腔体，并且一个或多个第一支撑件设置在第一腔体中并连接第一膜和第三膜。本发明实施例涉及传感器件及其制造方法。 | ||
| 搜索关键词： | 传感 器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微机电系统(MEMS)麦克风，包括：第一膜；第二膜；第三膜，设置在所述第一膜和所述第二膜之间；第一腔体，设置在所述第一膜和所述第三膜之间，并由第一壁围绕；第二腔体，设置在所述第二膜和所述第三膜之间，并由第二壁围绕；和一个或多个第一支撑件，设置在所述第一腔体中并连接所述第一膜和所述第三膜。
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