[发明专利]一种挤压膜阻尼最大的平板电容微执行器在审
| 申请号： | 201910208533.1 | 申请日： | 2019-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN109911841A | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 李普;朱成德;方玉明 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02 |
| 代理公司： | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人： | 叶倩 |
| 地址： | 210096 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种挤压膜阻尼最大的平板电容微执行器，包括基底和设置在基底上方的平板电容，所述平板电容包括固定电极板和活动电极板，所述固定电极板位于基底上方，所述活动电极板通过支撑组件与基底相连接，通过静电力在固定电极板上方进行垂直上下运动，所述活动电极板为正方形，通过正方形活动电极板的特殊结构及特殊位置安排，使得平板电容微执行器具有最大的挤压膜阻尼，当器件启动时，瞬态超调量较小，收敛较快；当停止时，振幅衰减也较快，延长微执行器的使用寿命，更加的高效科学。 | ||
| 搜索关键词： | 平板电容 活动电极板 微执行器 基底 固定电极板 挤压膜 垂直上下运动 器件启动 使用寿命 位置安排 支撑组件 超调量 静电力 衰减 瞬态 收敛 | ||
【主权项】：
1.一种挤压膜阻尼最大的平板电容微执行器，包括基底和设置在基底上方的平板电容，其特征在于：所述平板电容包括固定电极板和活动电极板，所述固定电极板位于基底上方；所述活动电极板通过支撑组件与基底相连接，通过静电力在固定电极板上方进行垂直上下运动，所述活动电极板为正方形。
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