[发明专利]一种挤压膜阻尼最大的平板电容微执行器

权利要求书

1.一种挤压膜阻尼最大的平板电容微执行器，包括基底和设置在基底上方的平板电容，其特征在于：所述平板电容包括固定电极板和活动电极板，

所述固定电极板位于基底上方；

所述活动电极板通过支撑组件与基底相连接，通过静电力在固定电极板上方进行垂直上下运动，所述活动电极板为正方形。

2.根据权利要求1所述的一种挤压膜阻尼最大的平板电容微执行器，其特征在于：所述支撑组件包括支撑梁和固定支撑，所述固定支撑分别固定于基底两侧，所述支撑梁包括两组，每一组中的支撑梁一端与固定支撑相连接，另一端与活动电极板相连接，两组支撑梁将活动电极板平行架空于固定电极板上方。

3.根据权利要求2所述的一种挤压膜阻尼最大的平板电容微执行器，其特征在于：所述每组支撑梁与活动电极板的连接处为活动电极板边长的中点，所述两组支撑梁以活动电极板的中轴线呈对称分布。

4.根据权利要求2所述的一种挤压膜阻尼最大的平板电容微执行器，其特征在于：所述每组支撑梁与活动电极板的连接处为活动电极板的顶点，两个连接顶点呈活动电极板的对角，所述两组支撑梁以活动电极板另一对角的连接线为轴线呈对称分布。

5.根据权利要求3或4所述的一种挤压膜阻尼最大的平板电容微执行器，其特征在于：所述每一组支撑梁的数量至少为1个，所述支撑梁以与活动电极板的连接处为原点，等距离的上下扩散连接。