[发明专利]一种离子植入机旋转角度监控系统在审
| 申请号： | 201910190627.0 | 申请日： | 2019-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN109920714A | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 刘鹏成 | 申请（专利权）人： | 无锡际盟信息科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/304 |
| 代理公司： | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人： | 许羽冬 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种离子植入机旋转角度监控系统，包括高真空腔体部分与大气部分，所述高真空腔体部分的下端设置有大气部分，所述高真空腔体部分与大气部分通过套接连接，所述大气部分的下端设置有原机台柔性电缆，本发明一种离子植入机旋转角度监控系统利用一个软件硬件结合的系统来对最后的旋转吸盘的传动齿轮进行检测并得到数据传输给计算机系统，系统利用SPC软件来根据不同的旋转角度设置不同的限制，一旦超过范围则软件将给信号主机台产生报警，然后工程师根据报警去排查并解决问题，解决了离子植入机旋转角度监控中的ROPLAT旋转角度无法在线实时监控，避免了由于没有实时检测导致的大批晶圆报废的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 离子植入机 角度监控系统 高真空腔体 下端 报警 机台 软件硬件结合 在线实时监控 传动齿轮 角度监控 角度设置 柔性电缆 实时检测 数据传输 系统利用 信号主机 旋转吸盘 计算机系统 晶圆 排查 报废 工程师 检测 | ||
【主权项】：
1.一种离子植入机旋转角度监控系统，包括高真空腔体部分(1)与大气部分(2)，其特征在于：所述高真空腔体部分(1)的下端设置有大气部分(2)，所述高真空腔体部分(1)与大气部分(2)通过套接连接，所述大气部分(2)的下端设置有原机台柔性电缆(3)，所述原机台柔性电缆(3)的右端设置有连接机台原控制器(4)，所述连接机台原控制器(4)的右端设置有新增传感器连线(5)，所述新增传感器连线(5)的上端设置有电机反馈控制线(6)，所述电机反馈控制线(6)的上端设置有控制接口(7)，所述控制接口(7)的上端设置有控制器(9)，所述控制器(9)的左端的外侧表端设置有功能选择开关(8)，所述功能选择开关(8)的右端设置有电源插座(10)，所述电源插座(10)的下端设置有通讯插头(11)，所述控制器(9)的右端设置有工业控制主机(14)，所述控制器(9)与工业控制主机(14)通过电性连接，所述工业控制主机(14)的下端设置有鼠标(13)，所述鼠标(13)与工业控制主机(14)通过电性连接，所述工业控制主机(14)的下端设置有键盘(12)，所述工业控制主机(14)的上端设置有显示器(15)，所述显示器(15)与工业控制主机(14)通过电性连接。
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