[发明专利]一种离子植入机旋转角度监控系统在审
| 申请号： | 201910190627.0 | 申请日： | 2019-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN109920714A | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 刘鹏成 | 申请（专利权）人： | 无锡际盟信息科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/304 |
| 代理公司： | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人： | 许羽冬 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 离子植入机 角度监控系统 高真空腔体 下端 报警 机台 软件硬件结合 在线实时监控 传动齿轮 角度监控 角度设置 柔性电缆 实时检测 数据传输 系统利用 信号主机 旋转吸盘 计算机系统 晶圆 排查 报废 工程师 检测 | ||
1.一种离子植入机旋转角度监控系统，包括高真空腔体部分(1)与大气部分(2)，其特征在于：所述高真空腔体部分(1)的下端设置有大气部分(2)，所述高真空腔体部分(1)与大气部分(2)通过套接连接，所述大气部分(2)的下端设置有原机台柔性电缆(3)，所述原机台柔性电缆(3)的右端设置有连接机台原控制器(4)，所述连接机台原控制器(4)的右端设置有新增传感器连线(5)，所述新增传感器连线(5)的上端设置有电机反馈控制线(6)，所述电机反馈控制线(6)的上端设置有控制接口(7)，所述控制接口(7)的上端设置有控制器(9)，所述控制器(9)的左端的外侧表端设置有功能选择开关(8)，所述功能选择开关(8)的右端设置有电源插座(10)，所述电源插座(10)的下端设置有通讯插头(11)，所述控制器(9)的右端设置有工业控制主机(14)，所述控制器(9)与工业控制主机(14)通过电性连接，所述工业控制主机(14)的下端设置有鼠标(13)，所述鼠标(13)与工业控制主机(14)通过电性连接，所述工业控制主机(14)的下端设置有键盘(12)，所述工业控制主机(14)的上端设置有显示器(15)，所述显示器(15)与工业控制主机(14)通过电性连接。
2.根据权利要求1所述的一种离子植入机旋转角度监控系统，其特征在于：所述显示器(15)为十八点五英寸液晶屏，分辨率1366乘768，所述显示器(15)的尺寸为宽度为四十四厘米并且高度为三十四厘米。
3.根据权利要求1所述的一种离子植入机旋转角度监控系统，其特征在于：所述新增传感器连线(5)共设置有三组，三组所述新增传感器连线(5)分别呈对称设置在连接机台原控制器(4)的右端，两根所述新增传感器连线(5)的外部壳体采用PP环保材料制成的，并采用工业高柔拖链屏蔽信号线。
4.根据权利要求1所述的一种离子植入机旋转角度监控系统，其特征在于：所述控制器(9)为矩形体结构，所述控制器(9)的尺寸为长度为二十六厘米、宽度为十五厘米并且高度为八厘米。
5.根据权利要求1所述的一种离子植入机旋转角度监控系统，其特征在于：所述功能选择开关(8)为拨扭圆柱体结构，所述功能选择开关(8)的尺寸为最大直径为六毫米，所述功能选择开关(8)与电源开关电性连接。
6.根据权利要求1所述的一种离子植入机旋转角度监控系统，其特征在于：所述原机台柔性电缆(3)得外部壳体的材料是采用PP环保材料制成的，所述原机台柔性电缆(3)共设置有两根，两根所述原机台柔性电缆(3)的截面直径为四十毫米。
7.根据权利要求1所述的一种离子植入机旋转角度监控系统，其特征在于：所述键盘(12)采用有线连接，所述键盘(12)与工业控制主机(14)通过电性连接，所述键盘(12)与显示器(15)通过电性连接。
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