[发明专利]晶圆转移装置及晶圆转移方法在审
| 申请号： | 201910161800.4 | 申请日： | 2019-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN109822419A | 公开（公告）日： | 2019-05-31 |
| 发明（设计）人： | 潘雪明;李鑫;苏静洪 | 申请（专利权）人： | 天通日进精密技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B9/06 | 分类号： | B24B9/06;B24B41/00;B24B41/06 |
| 代理公司： | 上海巅石知识产权代理事务所(普通合伙) 31309 | 代理人： | 张明;王再朝 |
| 地址： | 314400 浙江省嘉兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请公开一种应用于晶圆多工位边缘抛光设备的晶圆转移装置及晶圆转移方法，其中，所述晶圆转移装置包括转台和等角度设置的多个转移机械手，每一个转移机械手位于相邻两个作业区位之间，通过驱动转台转动，可同时利用多个转移机械手完成多片晶圆的转移，特别的，可使得每一个转移机械手能将对应的晶圆自前一个作业区位快速、平稳且无损伤地转移至邻近的后一个作业区位，提高了晶圆转移效率。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆 机械手 晶圆转移装置 区位 边缘抛光设备 等角度设置 转台转动 转移效率 多工位 无损伤 转台 多片 邻近 驱动 申请 应用 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆多工位边缘抛光设备的晶圆转移装置，其特征在于，所述晶圆多工位边缘设备具有晶圆作业平台，在所述晶圆作业平台上环设有等角度排列的多个作业区位，所述晶圆转移装置包括：转台，设于所述晶圆作业平台的居中区域；多个转移机械手，等角度设于所述转台上；每一个转移机械手位于相邻两个作业区位之间，用于在所述转台的带动下将晶圆自前一个作业区位转移至邻近的后一个作业区位。
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