[发明专利]晶圆转移装置及晶圆转移方法

权利要求书

1.一种晶圆多工位边缘抛光设备的晶圆转移装置，其特征在于，所述晶圆多工位边缘设备具有晶圆作业平台，在所述晶圆作业平台上环设有等角度排列的多个作业区位，所述晶圆转移装置包括：

转台，设于所述晶圆作业平台的居中区域；

多个转移机械手，等角度设于所述转台上；每一个转移机械手位于相邻两个作业区位之间，用于在所述转台的带动下将晶圆自前一个作业区位转移至邻近的后一个作业区位。

2.根据权利要求1所述的晶圆转移装置，其特征在于，所述转台上配置有转台驱动电机，用于驱动所述转台实现正反转向的转动。

3.根据权利要求1所述的晶圆转移装置，其特征在于，相邻两个转移机械手之间的夹角等于对应的相邻两个作业区位之间的夹角。

4.根据权利要求1所述的晶圆转移装置，其特征在于，在初始状态下，每一个转移机械手的初始位置为相邻两个作业区位的中间位置。

5.根据权利要求1所述的晶圆转移装置，其特征在于，所述转移机械手包括：用于承托晶圆的承托部和用于将所述承托部连接于所述转台的支臂。

6.根据权利要求5所述的晶圆转移装置，其特征在于，所述承托部上设有吸附单元。

7.根据权利要求5所述的晶圆转移装置，其特征在于，所述承托部为托盘或承托臂。

8.根据权利要求1所述的晶圆转移装置，其特征在于，所述转移机械手包括连接于所述转台的两个夹臂。

9.根据权利要求8所述的晶圆转移装置，其特征在于，所述夹臂上设有缓冲结构。

10.一种基于如权利要求1所述的晶圆转移装置的晶圆转移方法，其特征在于，所述晶圆转移方法包括如下步骤：

令转台以第一转向转动第一角度，使得转台上的转移机械手由初始位置转移至对应的前一个作业区位；所述第一角度为所述前一个作业区位与所述初始位置之间的夹角；

令转移机械手提取位于前一个作业区位的晶圆；

令转台以第二转向转动第二角度，使得转台上的转移机械手由对应的前一个作业区位转移至相邻的后一个作业区位；所述第二角度为所述前一个作业区位与所述后一个作业区位之间的夹角；

令转移机械手将晶圆置放于所述后一个作业区位；

令转台以第一转向转动第三角度，使得转台上的转移机械手由后一个作业区位转移至初始位置；所述第三角度为所述后一个作业区位与所述初始位置之间的夹角。