[发明专利]用于检测具有大分子的气体的气体传感器设备有效
| 申请号： | 201910128189.5 | 申请日： | 2019-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN110174446B | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | M·布拉赫姆;H·玛杰里;O·勒内尔;R·山卡尔;E·R·阿莱西;P·比安科利洛 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司;意法半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;崔卿虎 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开提供了用于检测具有大分子的气体的气体传感器设备。本公开涉及一种气体传感器设备，其检测诸如硅氧烷之类的具有大分子的气体(例如，具有的分子量在150g/mol和450g/mol之间的气体)。气体传感器设备包括薄膜气体传感器和体膜气体传感器。薄膜气体传感器和体膜气体传感器各自包括半导体金属氧化物(SMO)膜、加热器和温度传感器。薄膜气体传感器的SMO膜是薄膜(例如，在90纳米和110纳米厚之间)，并且体膜气体传感器的SMO膜是厚膜(例如，在5微米和20微米厚之间)。气体传感器设备基于SMO薄膜和SMO厚膜的电阻之间的变化来检测具有大分子的气体。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检测 具有 大分子 气体 传感器 设备 | ||
【主权项】：
1.一种设备，包括：衬底；在所述衬底上的第一气体传感器，所述第一气体传感器包括第一半导体金属氧化物(SMO)膜，所述第一SMO膜具有第一厚度；和在所述衬底上的第二气体传感器，所述第二气体传感器包括第二SMO膜，所述第二SMO膜具有大于所述第一厚度的第二厚度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于意法半导体股份有限公司;意法半导体有限公司，未经意法半导体股份有限公司;意法半导体有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910128189.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种用于在呼气中检测丙酮的感应器
- 下一篇：一种分体式多参电容浮球物位计
