[发明专利]一种适用于超大规模原子层沉积的给料系统

摘要

本发明公开一种适用于超大规模原子层沉积的给料系统，包括硅片载具以及夹持所述硅片载具的第一端盖法兰和第二端盖法兰；所述第一端盖法兰和第二端盖法兰通过若干根垂直穿过第一端盖法兰和第二端盖法兰的轴连接形成整体，轴的其中一端穿过所述第一端盖法兰，与第二端盖法兰连接；轴的另一端伸出第一端盖法兰，且伸出部分上套设有一弹簧，伸出端的端部设置轴盖，将所述弹簧限制在轴的伸出端。本发明中硅片载具作为内腔室的一部分，极大的减少了其自重，转运轻便，同时此给料系统载具直接受热，可明显提高加热速率、缩短加热时间，热量利用率高。

主权项

1.一种适用于超大规模原子层沉积的给料系统，其特征在于，包括硅片载具以及夹持所述硅片载具的第一端盖法兰和第二端盖法兰；所述第一端盖法兰和第二端盖法兰通过若干根垂直穿过第一端盖法兰和第二端盖法兰的轴连接形成整体，轴的其中一端穿过所述第一端盖法兰，与第二端盖法兰连接；轴的另一端伸出第一端盖法兰，且伸出部分上套设有一弹簧，伸出端的端部设置轴盖，将所述弹簧限制在轴的伸出端。