[发明专利]一种隔离粉及其制作方法有效
申请号: | 201910070012.4 | 申请日: | 2019-01-24 |
公开(公告)号: | CN109678530B | 公开(公告)日: | 2021-07-23 |
发明(设计)人: | 郭军;党军杰;张浩;田晨光;孙登琼;李建青;史常东;崔嵩 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第四十三研究所 |
主分类号: | C04B35/64 | 分类号: | C04B35/64 |
代理公司: | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人: | 金凯 |
地址: | 230088 安*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公开了一种隔离粉及其制作方法,通过将高温去活的氮化铝粉体和氮化硼粉体混合制得了二元混合隔离粉,使得其同时满足低温氧化气氛下和高温惰性气氛下使用要求,具有产品隔离润滑的效果且不会发生滑移,同时可有效防止烧结过程中发生化学反应与氮化铝基板发生粘结,利于大尺寸基板的翘曲度控制,90%以上的基板翘曲度控制在5‰之内,无需陶瓷整平工艺就满足产品应用需求,达到本行业对隔离粉在不同气氛下以及高温隔离润滑要求。 | ||
搜索关键词: | 一种 隔离 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
1.一种隔离粉,其特征在于,所述隔离粉由均经过高温去活的氮化铝粉体和氮化硼粉体混合而成。
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