[发明专利]一种隔离粉及其制作方法有效
申请号: | 201910070012.4 | 申请日: | 2019-01-24 |
公开(公告)号: | CN109678530B | 公开(公告)日: | 2021-07-23 |
发明(设计)人: | 郭军;党军杰;张浩;田晨光;孙登琼;李建青;史常东;崔嵩 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第四十三研究所 |
主分类号: | C04B35/64 | 分类号: | C04B35/64 |
代理公司: | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人: | 金凯 |
地址: | 230088 安*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 隔离 及其 制作方法 | ||
1.一种隔离粉,其特征在于,所述隔离粉由质量比为(5~8):(5~2)的氮化硼粉体和氮化铝粉体混合而成,其中,所述氮化硼粉体和氮化铝粉体均经过2~8h,1850~2000℃高温去活性。
2.如权利要求1所述的隔离粉,其特征在于,所述氮化铝粉体的平均粒度D50为0.5~1.6μm,比表面积为2.8~5m2/g,氧含量小于1.5%;
所述氮化硼粉体的平均粒度D50为0.5~10μm,比表面积为4~10m2/g,氧含量小于0.9%。
3.一种如权利要求2所述的隔离粉的制作方法,其特征在于,包括以下步骤:
a、将氮化铝粉体和氮化硼粉体分别进行去杂质处理;
b、将去杂质后的氮化铝粉体和氮化硼粉体分别破碎过筛后高温去活;
c、将高温去活后的氮化铝粉体和氮化硼粉体混合均匀,制得隔离粉。
4.如权利要求3所述的制作方法,其特征在于,步骤a中,氮化硼粉体的去杂质处理为将氮化硼粉体置于马弗炉中,以5~10℃/ min速率升温到800~900℃后保温2~10h;
氮化铝粉体的去杂质处理为将氮化铝粉体置于马弗炉中,以5~10℃/min速率升温到600~700℃后保温1~12h。
5.如权利要求3所述的制作方法,其特征在于,步骤b中,所述过筛采用40~100目筛网。
6.如权利要求3所述的制作方法,其特征在于,步骤b中,所述高温去活的具体步骤为:将破碎过筛后的氮化铝粉体和氮化硼粉体分别置于烧结炉中,分段升温至1850~2000℃并保温2~8h。
7.如权利要求6所述的制作方法,其特征在于,所述分段升温的具体步骤为以10~15℃/min升温到1200℃,再以3~8℃/min升温到1850~2000℃并保温2~8h。
8.如权利要求3所述的制作方法,其特征在于,步骤c中,所述混合均匀的具体步骤为:将高温去活后的两种粉体混合后,再依次经过粗碎、研磨、过筛。
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