[发明专利]一种硅片腐蚀工艺固定载具及固定方法

摘要

本发明公开了一种硅片腐蚀工艺固定载具，涉及硅片腐蚀技术领域，包括载具主体、第一固定单元、至少二调整固定件、传导件。第一固定单元具有凹口。调整固定件处于相对方向，调整固定件的相对端面朝向载具主体的中心，调整固定件连接载具主体与第一固定单元，其中一个调整固定件具有正螺纹，另一个调整固定件具有逆螺纹，调整固定件还具有延伸件、滑件，延伸件具有一定长度，滑件连接延伸件。传导件具有伸缩口，延伸件位于伸缩口中，伸缩口具有滑槽，滑槽连接滑件。本发明在两个调整固定件的正螺纹和逆螺纹作用下，两个第一固定单元以相同的速度和相同的力度夹紧硅片。在夹紧硅片的同时防止硅片中心与载具主体中心产生偏离，影响产品质量。

主权项

1.一种硅片腐蚀工艺固定载具，其中，包括：载具主体；第一固定单元，所述第一固定单元具有凹口；至少二调整固定件，所述调整固定件处于相对方向，所述调整固定件的相对端面朝向所述载具主体的中心，所述调整固定件连接所述载具主体与所述第一固定单元，其中一个所述调整固定件具有正螺纹，另一个所述调整固定件具有逆螺纹，所述调整固定件还具有：延伸件；滑件，所述滑件连接所述延伸件；传导件，所述传导件具有：伸缩口，所述延伸件位于所述伸缩口中，所述伸缩口具有滑槽，所述滑槽连接所述滑件。