[发明专利]一种硅片腐蚀工艺固定载具及固定方法

说明书

本发明公开了一种硅片腐蚀工艺固定载具，涉及硅片腐蚀技术领域，包括载具主体、第一固定单元、至少二调整固定件、传导件。第一固定单元具有凹口。调整固定件处于相对方向，调整固定件的相对端面朝向载具主体的中心，调整固定件连接载具主体与第一固定单元，其中一个调整固定件具有正螺纹，另一个调整固定件具有逆螺纹，调整固定件还具有延伸件、滑件，延伸件具有一定长度，滑件连接延伸件。传导件具有伸缩口，延伸件位于伸缩口中，伸缩口具有滑槽，滑槽连接滑件。本发明在两个调整固定件的正螺纹和逆螺纹作用下，两个第一固定单元以相同的速度和相同的力度夹紧硅片。在夹紧硅片的同时防止硅片中心与载具主体中心产生偏离，影响产品质量。

技术领域

本发明涉及硅片腐蚀技术领域，特别涉及一种硅片腐蚀工艺固定载具。

背景技术

硅片腐蚀是利用氢氧化钠对多晶硅进行腐蚀，目的是为了去除硅片在多线切割锯切片时产生的表面损伤层，同时利用氢氧化钠对硅腐蚀的各向异性，争取反射率较低的表面织构。

目前在硅片腐蚀工艺中，首先将圆形硅片放入到专用载具中，其次将专用载具放入到恒温腐蚀池中腐蚀一定时间，并在机械臂的抖动下加速腐蚀，使硅片在没有保护的地方腐蚀成沟槽，形成芯片的初步形状。在此过程中，由于硅片载具没有对硅片进行固定，所以硅片在抖动下回产生不可控的自旋转，导致硅片每个部位的腐蚀程度不一致，使得沟槽深度不一致，影响产品质量。

如公告号CN104992917B的中国专利，公开了一种“一种硅片载具”，包括：用于承放硅片的载具主体、固定单元，所述固定单元包括V形槽固定条。在具体实施中，先安装固定单元，此时，为方便硅片安装，V形槽固定条并未彻底固定，只有硅片安装完成后，才能彻底固定V形槽固定条。在此过程中，彻底固定V形槽固定条时，不可避免会对硅片施加力，硅片受力就会产生移动，导致硅片中心与载具主体中心产生偏离，最后使得硅片在腐蚀过程中，硅片浸入恒温腐蚀池的各部位高度不一(硅片在进行腐蚀时一般是先一端进行腐蚀，再转动到另一端进行腐蚀)，造成硅片各部位无法完全进行腐蚀，影响产品质量。并且在将硅片放入到V形槽固定条时，也需将硅片中心对准V形槽固定条中心，不然也会导致硅片中心与载具主体中心产生偏离，影响产品质量。

发明内容

本发明目的之一是解决现有技术中硅片中心与载具主体中心产生偏离，影响产品质量的问题。

本发明目的之二是提供一种固定硅片的方法。

为达到上述目的之一，本发明采用以下技术方案：一种硅片腐蚀工艺固定载具，其中，包括：载具主体，载具主体用于承载硅片；第一固定单元，第一固定单元具有凹口，凹口用于夹持硅片；至少二调整固定件，调整固定件处于相对方向，调整固定件的相对端面朝向载具主体的中心，调整固定件连接载具主体与第一固定单元，其中一个调整固定件具有正螺纹，另一个调整固定件具有逆螺纹，调整固定件还具有：延伸件，延伸件具有一定长度；滑件，滑件连接延伸件；传导件，传导件具有:伸缩口，伸缩口具有一定深度，延伸件位于伸缩口中，延伸件与伸缩口相互贴合，伸缩口具有滑槽，滑槽连接滑件。

在上述技术方案中，本发明实施例首先将硅片放入到第一固定单元的凹口中，利用凹口壁面对硅片进行夹持。

之后拧动调整固定件驱使第一固定单元夹紧硅片，其中，调整固定件的延伸件对传导件施力，传导件受力对另一个调整固定件进行驱动，进一步驱使另一个第一固定单元夹紧硅片，在两个调整固定件的正螺纹和逆螺纹作用下，两个第一固定单元以相同的速度和相同的力度夹紧硅片。

最后在夹紧硅片过程中，如硅片和载具主体不处于相同中心点时，硅片中心点的高度高于或低于第一固定单元的中心，硅片两端弧形朝向相同的方向，就具有力的导向作用，极易将硅片挤压移动，迫使硅片移出第一固定单元，需重新安装硅片；如硅片和载具主体处于相同中心点时，硅片中心点的高度等于第一固定单元的中心，硅片两端弧形朝向不同的方向，就不具备力的导向作用，使得第一固定单元夹紧硅片，固定硅片。