[发明专利]薄膜太阳能电池碱金属层的制备方法及镀膜设备

摘要

本发明提供了薄膜太阳能电池碱金属层的制备方法及镀膜设备，方法包括：对已形成有背电极层的衬底进行加热，调节衬底的温度达到预设沉积温度阈值；以及对碱金属源进行加热，调节碱金属源的加热功率达到预设功率阈值或调节沉积速率达到预设沉积速率阈值；根据衬底的温度以及碱金属源的加热功率或沉积速率，在形成吸收层之前于背电极层远离衬底的表面沉积预设厚度的碱金属层。本申请通过控制工艺参数来精确预置碱金属的量，进而在背电极层远离衬底的表面沉积预设厚度的碱金属层，通过控制碱金属Na在薄膜太阳能电池的吸收层中的量，实现精确控制Na含量的目的，控制薄膜太阳能电池的吸收层的形核和生长，提高了薄膜太阳能电池的发电效率。