[发明专利]薄膜太阳能电池碱金属层的制备方法及镀膜设备

权利要求书

1.一种薄膜太阳能电池碱金属层的制备方法，所述薄膜太阳能电池包括依次层叠设置的衬底、背电极层、碱金属层、吸收层，其特征在于，所述碱金属层的制备方法包括：

对已形成有所述背电极层的衬底进行加热，调节衬底的温度达到预设沉积温度阈值；以及

对碱金属源进行加热，调节所述碱金属源的加热功率达到预设功率阈值，或调节所述碱金属源的沉积速率达到预设沉积速率阈值；

根据所述衬底的温度以及所述碱金属源的加热功率或沉积速率，在形成所述吸收层之前于背电极层远离衬底的表面沉积预设厚度的碱金属层。

2.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池碱金属层的制备方法，其特征在于，所述预设沉积速率阈值为0.05～0.8nm/s。

3.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池碱金属层的制备方法，其特征在于，所述预设沉积速率阈值为0.1～0.5nm/s。

4.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池碱金属层的制备方法，其特征在于，所述预设功率阈值为600～2000W。

5.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池碱金属层的制备方法，其特征在于，所述预设功率阈值为900～1500W。

6.根据权利要求2或4所述的薄膜太阳能电池碱金属层的制备方法，其特征在于，所述预设沉积温度阈值为200～500℃，所述预设厚度为2～100nm。

7.根据权利要求3或5所述的薄膜太阳能电池碱金属层的制备方法，其特征在于，所述预设沉积温度阈值为300～480℃，所述预设厚度为10～50nm。

8.根据权利要求1～7任一项所述的薄膜太阳能电池碱金属层的制备方法，其特征在于，在所述碱金属源中填充固态的碱金属化合物，将衬底加热至达到预设沉积温度阈值，并将固态的碱金属化合物加热至加热功率达到预设功率阈值，或将固态的碱金属化合物加热至沉积速率达到预设沉积速率阈值，使固态的碱金属化合物蒸发形成气态的碱金属阳离子和阴离子，并沉积在所述背电极层远离衬底的表面上。

9.根据权利要求1～8所述的薄膜太阳能电池碱金属层的制备方法，其特征在于：所述碱金属源具有偶数排，偶数排碱金属源设置于镀膜腔室内，且沿着所述镀膜腔室的幅长方向，所述偶数排碱金属源对称设置在所述镀膜腔室的两侧。

10.根据权利要求9所述的薄膜太阳能电池碱金属层的制备方法，其特征在于，所述碱金属源的中心线与参考线之间的夹角为16～50°，所述参考线为垂直于所述镀膜腔室的底部的直线。

11.一种采用如1～10任一项所述的制备方法制备薄膜太阳能电池碱金属层的镀膜设备，其特征在于，所述镀膜设备包括碱金属源、第一加热器和第二加热器；所述碱金属源内填充有碱金属化合物原料；

控制器用于控制所述第一加热器加热衬底，使衬底的温度达到预设温度阈值，控制所述第二加热器加热碱金属源，使碱金属源的加热功率达到第一预设功率阈值或碱金属源的沉积速率达到第一预设沉积速率阈值。