[发明专利]一种模块化喷雾冷却器有效
申请号: | 201910040978.3 | 申请日: | 2019-01-16 |
公开(公告)号: | CN109817594B | 公开(公告)日: | 2020-07-28 |
发明(设计)人: | 马挺;俞兴飞;李娜;王秋旺 | 申请(专利权)人: | 西安交通大学 |
主分类号: | H01L23/473 | 分类号: | H01L23/473;H01L23/367;H01L23/427;H01L23/433;H01L23/467;F25B19/04 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 王艾华 |
地址: | 710049 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开一种模块化喷雾冷却器,由多个单位冷却模块构成。冷却器一侧紧贴发热单元,另一侧制冷液经冷风冷凝液化,单位冷却模块包括喷嘴、压电陶瓷件、液相通道肋片、气相通道肋片、铜片冷板、微型单向阀和结构通道,单位冷却器的结构通道包括冷风通道、冷凝通道、液相通道、气相通道、供液通道、储液腔、动力通道和喷雾腔。动力通道由压电陶瓷件提供动力,与喷雾腔连接;喷雾腔上端与气相通道连接,下端与液相通道连接;气相通道与冷凝通道相连接;液相通道与供液通道,供液通道与储液腔连接。本发明利用压电陶瓷作为动力源,喷雾冷却的换热性能好,温度均匀的优势,具备高效的冷却能力与适应性,可应用于高热流密度的微电子芯片的冷却。 | ||
搜索关键词: | 一种 模块化 喷雾 冷却器 | ||
【主权项】:
1.一种模块化喷雾冷却器,其特征在于,整体由多个单位冷却模块构成,每个单位冷却模块包括微型喷嘴(1)、压电陶瓷件(2)、气相通道肋片(3)、液相通道肋片(4)、铜片冷板(5)、微型单向阀(6),冷风通道(7)、冷凝通道(8)、气相通道(9)、液相通道(10)、供液通道(11)、储液腔(12)、动力通道(13)和喷雾腔(14);所述铜片冷板(5)紧贴发热单元(15);所述动力通道(13)由压电陶瓷件(2)提供动力,微型喷嘴(1)安装在动力通道(13)末端;所述喷雾腔(14)上端与气相通道(9)相连接,下端与液相通道(10)相连接,气相通道(9)与液相通道(10)前中部端上均匀分布有肋片,动力输送由压电陶瓷件(2)提供,气相通道(9)与冷凝通道(8)相连接;冷凝通道(8)与冷风通道(7)紧密交错分布;液相通道(10)与供液通道(11)连接,通道间安装微型单向阀(6);供液通道(11)与储液腔(12)连接,两者间安装微型单向阀(6)。
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